传感器原理及应用复习重点

1、第 2 2 章电阻应变式传感器。可测力、压力、位移、应变、加速度等物理量;工作原理：金属丝、箔、薄膜在外界应力作用下电阻值变化的效应结构简单，使用方便易于实现自动化、多点及远距离测量、遥测；。灵敏度高，测量速度快，适合静态、动态测量;2.12.1 电阻应变片的工作原理金属的电阻一应变效应金属丝的电阻随着它所受的机械变形的大小而发生相应的变化的现象称为金属的电阻座笠效应。R=pL/sR=pL/s金属丝受拉时，l l 变长、r r 变小，导致 R R 变大。电阻应变片由锹感栅、基片、救盖层和引线等部分组成口其中，敢盛栅是应变片的核心部分，它是用直径约0.02-0.04im的具有高电阻率的电阻丝制成

2、的，为了获得高的电阻值，电阻丝排列成栅网状，故称为敏感栅口将敏感栅粘贴在绝缘的基片上，两端焊接引出导线，其上再粘贴上保护用的覆盖层，即可构成电电阻应变式传感器概述阻变电应片桥路电电性感件弹敏元半导体应变片常见的半导体应变斤是用硅或错等半导体材料作为敏感栅，一般为单根状，粳据压阻效应*,半导体同金属丝一样可以把应变转换成电阻的变化。半导体应变片的优点是尺寸，横向鼓应、机械滞后都很小，灵敏赛数极大，因而狗出也大，可以不需放大器宜接与记录仪器连接.使周测立一冢统茴化。它们的缺点是电阻值和灵敏系数的温度稳定性差；测量较大应变时非线性严重；灵敏系数随受拉力或压力而变,且分散度大，一般在(3-5)%之间，

3、因而使测量结果不土(3-5)%的误茎口奥毅及：cclR/RA=A.K应变片的测试原理用应变片测量应变或应力时， 是将应变片粘贴于被测对象上， 在外力作用下， 被测对象表面产生微小机械变形,粘贴在其表面上的应变片亦随其发生相同的变化.因此应变片的电阻也发生相应的变化口当测得应变片电阻值变化量(?时， 根据应变片的工作原理的数学表达式,便可得到被测对象的应变值，而根据应力一应变关系：(y-E式中a试件的应力；试件的应变；E试件的弹性模量(Pa)o由此可知， 应力值正比于应变， 而试件应变又正比于电阻值的变化量!?,所以应力正比于电阻值的变化口这就是利用应变片测量应变的基本原理。阻丝应变片口图 2T

4、2T 半导体成向查特1-1-腰原材底 2-PSi3-2-PSi3-内引鳏 4-4-焊接板 5 5- -外引线对敏感栅的材料的要求：应变灵敏系数大，并在所测应变范围内保持为常数;电阻率高而稳定，以便于制造小栅长的应变片；电阻温度系数要小；抗氧化能力高，耐腐蚀性能强；在工作温度范围内能保持足够的抗拉强度；加工性能良好，易于拉制成丝或轧压成箔材；易于焊接，对引线材料的热电势小。常用材料有：康铜、银铭合金、铁铭铝合金、铁银铭合金、柏、柏鸨合金等，如下表。2 2 .基底材料基底用于保持敏感栅、引线的几何形状和相对位置，盖片既保持敏感栅和引线的形状和相对位置，还可保护敏感栅。基底的全长称为基底长，其宽度称

5、为基底宽。基底材料有纸基和胶基。胶基由环氧树脂、酚醛树脂和聚酰亚胺等制成胶膜，厚度约 0.030.030.05mm0.05mm3 3 .黏合剂材料用于将敏感栅固定于基底上，并将盖片与基底粘贴在一起。使用金属应变片时，也需用粘结剂将应变片基底粘贴在构件表面某个方向和位置上。以便将构件受力后的表面应变传递给应变计的基底和敏感栅。常用的粘结剂分为有机和无机两大类。有机粘结剂用于低温、常温和中温。常用的有聚丙烯酸酯、酚醛树脂、有机硅树脂，聚酰亚胺等。无机粘结剂用于高温，常用的有磷酸盐、硅酸、硼酸盐等。4 4 .引线材料是从应变片的敏感栅中引出的细金属线。对引线材料的性能要求：电阻率低、电阻温度系数小、

6、抗氧化性能好、易于焊接。大多数敏感栅材料都可制作引线。应变片的灵敏系数（K K）金属应变丝的电阻相对变化与它所感受的应变之间具有线性关系，用灵敏度系数 KSKS 表示。当金属丝做成应变片后，其电阻一应变特性，与金属单丝情况不同。因此，须用实验方法对应变片的电阻一应变特性重新测定。实验表明，金属应变片的电阻相对变化与应变 e e 在很宽的范围内均为线性关系。即RA为金属应变片的灵敏系数.注意， 屣在试件受一维应力作用， 应变片的轴向与主应力方向一致，且试件材料的泊松比为0.285的钢材时测得的.测量结果表明，应变片的灵敏系数MS小于线材的灵敏系数电口原因，胶层传递变形失真,横向效应也是一个不可忽

7、视的因素.4 4.机械滞后应变片粘贴在被测试件上，当温度恒定时，其加载特性与卸载特性不重合，即为机械滞后。产生原因：应变片在承受机械应变后，其内部会产生残余变形，使敏感栅电阻发生少量不可逆变化；在制造或粘贴应变片时，如果敏感栅受到不适当的变形或者粘结剂固化不充分。机械滞后值还与应变片所承受的应变量有关，加载时的机械应变愈大，卸载时的滞后也愈大。所以，通常在实验之前应将试件预先加、卸载若干次，以减少因机械滞后所产生的实验误差。应变极限、疲劳寿命在一定温度下，应变片的指示应变对测试值的真实应变的相对误差不超过规定范围（一般为10%10%）时的最大真实应变值。在图中，真实应变是由于工作温度变化或承受

8、机械载荷， 在被测试件内产生应力 （包括机械应力和热应力）时所引起的表面应变。主要因素粘结剂和基底材料传递变形的性能及应变片的安装质量。制造与安装应变片时，应选用抗剪强度较高的粘结剂和基底材料。基底和粘结剂的厚度不宜过大，并应经过适当的固化处理，才能获得较高的应变极限.9 9.动态响应特性当被测应变值随时间变化的频率很高时，需考虑应变片的动态特性。因应变片基底和粘贴胶层很薄，构件的应变波传到应变片的时间很短（估计约 0.2s0.2s）, ,故只需考虑应变沿应变片轴向传播时的动态响应。设一频率为 f f 的正弦应变波在构件中以速度 v v 沿应变片栅长方向传播，在某一瞬时 t,t,应变量沿构件分

9、布如图所示。指示应变设应变波波长为入应变片中点的应变为,则有入=v/fov/fo 应变片栅长为 L,L,瞬时 t t 时应变波沿构件分布为2醒即=%sinXtMM；x=；0sinxtxt 为 t t 瞬时应变片中点的坐标。应变片测得的应变为栅长 1 1 范围内的平均应变 m,m,其数值等于 1 1 范围内应变波曲线下的面积除以 1,1,即xdx=；0sinxttsin2二平均应变3与中点应变外相对误差5为.7llsm2ttii2-1-t红T了为1/10和1/2D时的数值。误差5的计算结果1至6(%)17101.621/200.52由表可知，应变片栅长与正弦应变波的波长之比愈小，相对误差万愈小口

10、当选中的应变片栅长为应变波长的(1/10-1/20)时，方将小于2%口因为式中口一应变波在试件中的传播速度;Z一应变片的可测频率口A10若已知应变波在某材料内传播速度， 由上式可计算出栅长为L的应变片粘贴在某种材料上的可测动态应变最高频率。2.4.22.4.2 应变片的使用1 1 . .去污：采用手持砂轮工具除去构件表面的油污、漆、锈斑等，并用细纱布交叉打磨出细纹以增加粘贴力，用浸有酒精或丙酮的纱布片或脱脂棉球擦洗。2 2 . .贴片：在应变片的表面和处理过的粘贴表面上，各涂一层均匀的粘贴胶，用镣子将应变片放上去，并调好位置，然后盖上塑料薄膜，用手指揉和滚压，排出下面的气泡。3 3 .测量：从

11、分开的端子处，预先用万用表测量应变片的电阻，发现端子折断和坏的应变片。4 4 .焊接：将引线和端子用烙铁焊接起来，注意不要把端子扯断。5 5 .固定：焊接后用胶布将引线和被测对象固定在一起，防止损坏引线和应变片。由上式可见，相对误差小的大小只决定于上的比值,表中给出应变传感器的测试电路由于机械应变一般都很小，要把微小要把电阻相对变化AR/R转换为电压或电流的变化口因此， 需要有专用测量电路用于测量应变变化而引起电阻变化的测量电路,通常采用直流电桥和交流电桥。2.2.5.15.1 恒压源直流电桥联立求解上述方程，求出检流计中流过的电流回:,二5（一）。一人（4+凡）（品+&）+凡居（居+

12、瑞）+R阳（4+凡）式中大法负载电阻，因而其输出电压却为:5=1a=(4+&)(4+&)+丁出氏(4+&)+&(此+&)长0当段改厂长4时,4=0,=0,即电桥处于平衡状态.JL。uy若电桥的负载电阻用为无穷大，则B.D两点可视为开路，上式可以化简为：应变31起的微小电阻变化测同时u=uRR、-RR（&+&）（&十&）设为为应变片的阻值，工作时占有一增量八大0当为拉伸应变时.号为正；压缩应变时，均为负.在上式中以g十A4代替玛，则U（A+然困-居居-（4+小+瑞）（居+凡）当电桥采用恒流源供电时， 电流流入R+R-和&am

13、p;+R的笄联电路.产生的压降为：（鸟40）（国+&）R+R+&+R*U=/困+&X&+RJ仆心-用二/&SBD与+&+&+&/?+必）（a+&）%+&+代十尺1生负的电阻增量，且增势的绝对值都相等，则=（+ARXR+凶）-依-八/?依-AW）二冲/?+/?+/?-A7?+R+A/?+K-A/?一n恒流源电桥的输出电压与AR成正比（注怠这有别于恒压源电桥的VAR/R成正比）。可见它具有较高的测量灵敏度口（2-12）整理得二UQ二R.A2?1】+当%均人电）（2-13）贝!J:2.2.5 5齐乳源施RrRi,设R】R

14、?产生正的电阻增量，IL），R产表3T等臂电桥不同组成方式的输出电压不等臂对称电桥特性1、电桥桥劈由多枚应变片串联组成设桥皆Ri=R广nR,R3=RR（图中产2）。当桥劈中的n个应变片都产生相等的AR变化时，电机的价出电压为：%=丁/一,U，竺u（，求+MR+R）4 4R若n个应变片产生的!?不分.2、电桥桥臂由多枚应变片弁联组成设桥臂R二R?二R/n,R：RR （图中n=2）0（中的n个应变片都产生相等的AR变化时,输出电压为：=7二UR+ARR+AR当桥分电桥的B若n个应变片产生的AR不等，则Ak中，不等臂对称电桥特性特点：（1）串联电桥和并联电桥不能增加电桥的输出，具有对应变片产生的应变

15、取平均值的作用。（2）可以采用适当提高供桥电压的办法提高串联电桥的输出。效应。用应变形式表现出来，称之为热输出。电阻应变式电桥大都双用交沅电轿，观由有二:（1）应变电桥做出极弱，需妻加放大器.而且沆放大器容易产生受餐停修.故日前受采用交流放大器；（J）由于应变片与桥路采用电螳/接，道引成分布电容的花响不能虢.电略时.也晶姿采厢交流电机 d材料的线膨胀系数（3g3g）有关。每一种材料的被测试件，其线膨胀系数 3g3g 都为确定值，可以在有关的材料手册中查到。在选择应变片时，若应变片的敏感栅是用单一的合金丝制成，并使其电阻温度系数”和线膨胀系数 3s3s 满足上式的条件，即可实现温度自补偿。具有这

16、种敏感栅的应变片称为单丝自补偿应变片。单丝自补偿应变片的优点是结构简单，制造和使用都比较方便，缺,点:但它必须在具有一定线膨胀系数材料的试件上使用，否则不能达到温度自补偿的目的。可见载荷的位置不影响输出温度误差及其产生原因:上式为应变片粘贴在试件表面上，当试件不受外力作用，在温度变化 AtAt 时，应变片的温度双孔平行梁：载荷可以施加在任何位置，都可以简化为作用于梁端部的力F及一个力偶M_FL.+M_F1+M差动电桥输出工盗FLS型双孔梁楚之曳逐史伊感器处(1)气隙式、变面积型电感传感器(2)螺线管式电感传感器三、电感式传感器的特点(1)结构简单、可靠、测量力小；(2)分辨率高； 机械位移0.

17、1Pm,甚至更小3角位移0.1角秒。检出信号强，电压灵敏度可达数百mV/mm。(3)传感器输出信号强，有利于信号的传输和放大，一般每毫米变化可达到数百毫伏的输出；(4)重复性能好以及线性度宽且较稳定；在几十到数百mm的位移范围内， 谕出特性的线性度*交好， 目比较稳定。(5)不宜高频动态信号的测量;存在交流零鲜昼差动式原理匕、2剂磁路组成。当被测量通过导杆使衔铁(左右)位移时，两个回路中磁阻发生大小相等、方向相反的变化，形成差动形式。差动变隙式由两个相同的线fll出差动电桥输出:U。畸FLbh26抗弯断面系数二.螺管型电感传感器有单线圈和差动式两种结构形式。单线圈螺管型传感器的主要元件为一只螺

18、管线圈一根圆柱形铁芯及磁性套筒。传感器工作时，因铁芯在线圈中伸入长度的变化，引起线圈泄漏路径中磁阻的变化，从而使线圈自感发生变化。螺管线圈1螺管线猷磁性套筒漏磁通主磁通差动螺管型传感器结构图螺管式自感传感器根据其磁路结构，磁通主要由两部分组成，磁通沿轴向贯穿整个线后闭合的为主磁通:另外经铁芯侧面气隙闭合的侧磁通称为漏磁通.铁芯在开始插入（户0）或几乎离开线圈时的灵敏度， 比铁芯插入线圈的1/2长度时的灵敏度小得多。这说明只有在线圈中段才有可能获得较高的灵敏度T并且有较好的线性特性.0.20.40.60.81.0螳管线圈内底场分布曲线传感器工作时，衔铁在线圈中伸入长度的变化将引起螺管线圈电感量的

19、变化。对于长螺管线圈当衔铁工作在螺管的中部时，可以认为线圈内磁场强度是均匀的，线圈电感量L与衔铁的插入深度1大致上成正比。线圈螺首型电感传感器这种传感器结构简单，制作容易，灵敏度较低，适用于测量较大的位移量。2.带相敏整流的交流电桥输出电压有残余电压力由于电路结构不完全对称，当输入电压中包含有谐波时，输出端在铁芯位移为零时将出现残余电压，称之为零点残余电压。采用相敏整流电路可以消除零点残余电压、丫、谡余蜓判别衔铁位移的方向、改善线性度。0-*+VUo交谊上移U0卜移UX)UX)VDVDVIXVIX泼憎布表日总XXXXXXXHKXXXXXj衔铁3您互感式传感器一差动变压器一、互感式传感器的结构与

20、工作原理分气隙型和螺管型两种Q目前多采用螺管型差动变压器口差动变压器试传感器工作原理工作原理类似于变压器。主要包括有衔铁、初级绕组、次级绕组和线圈框架等。初、次级绕组的耦合能随衔铁的移动而变化，即绕组间的互感随被测位移的改变而变化。初级线圈作为差动变压器激励用，相当于变压器的原边，而次级线圈由结构尺寸和参数相同的两个线圈反相串接而成，且以差动方式输出，相当于变压器的副边。所以又把这种传感器称为差动变压器1一初级线2、3一次级线圈；4一衔铁(ah(b)变隙式差动变压器(ch(d)螺线管式差动变压器(0(0变面积式差动变压器式电感传感器，通常简称为差动变压器。1、螺线管式差动变乐器结构与原理(I)

21、媒线管式差动变压器结构由初级线圈，两个次级线图和插入线图中央的圆柱形块芯等组成.两个次级线困反向串联， 构成差动式.根据初.次级线图排列不同，螺管式差动 1 初级线圈；2 次级线;变压器有二节或、三节式，旧节式和五节式 3 阳铁；4 件杆等杉式.五节式三节式的零点电位较小，二节式比三节式灵敏度高、线性3.2.13.2.1 螺管形差动变压器当衔铁移向次级绕组 LS1LS1 一边，互感 M1M1 增大，M2M2 减小，因而次级绕组 LS1LS1 内的感应电动势大于次级绕组 LS2LS2 内的感应电动势，这时差动变压器输出电动势不为零。在传感器的量程内，衔铁位移越大，差动输出电动势就越大。当衔铁移向

22、次级绕组 LS2LS2 一边， 差动输出电动势仍不为零， 但由于移动方向改变，所以输出电动势反相。因此通过差动变压器输出电动势的大小和相位可以知道衔铁位移量的大小和方向。零点残余电压范围大,1节式和五节式改善了传感器线性度。当差动变压器的衔铁处于中间位置时，理想条件下其输出电压为零。但实际上，当使用桥式电路时，在零点仍有一个微小的电压值（从零点几 mVmV 到数十 mVmV）存在，称为零点残余电压。如图是扩大了的零点残余电压的输出特性。零点残余电压的存在造成零点附近的不灵敏区；零点残余电压输入放大器内会使放大器末级趋向饱和，影响电路正常工作等。Q值是衡量电感器件的主要参数。是指电感器在某一频率

23、的交流电压下工作时，所呈现的感抗与其等效损耗电阻之比。电感器的 Q Q 值越高，其损耗越小，效率越高。电感器品质因数的高低与线圈导线的直流电阻、线圈骨架的介质损耗及铁心、屏蔽罩等引起的损耗等有关。Q=XL/R=2Q=XL/R=2 兀 fL/RfL/R零点残余电压产生原因：基波分量由于差动变压器两个次级绕组不可能完全一致，因此它的等效电路参数（互感 M M、自感 L L 及损耗电阻 R R）不可能相同，从而使两个次级绕组的感应电动势数值不等。又因初级线圈中铜损电阻及导磁材料的铁损和材质的不均匀，线圈匝间电容的存在等因素，使激励电流与所产生的磁通相位不同。高次谐波高次谐波分量主要由导磁材料磁化曲线

24、的非线性引起。由于磁滞损耗和铁磁饱和的影响，使得激励电流与磁通波形不一致产生了非正弦（主要是三次谐波）磁通，从而在次级绕组感应出非正弦电势。另外，激励电流波形失真，因其内含高次谐波分量，这样也将导致零点残余电压中有高次谐波成分。差动变压器的测量电路 1.1.差动整流电路无论次级线圈的输出瞬时电压极性如何，整流电路的输出电压 U0U0 始终等于 R1R1、R2R2 两个电UoF+UgHhg阻上的电压差。根据半导体二级管单向导通原理。若传感器的一个次级线圈的输出瞬时电压极性在 e e 点为牛”，f f 点为则电流路径是eacdbfeacdbf。反之，如 e e 点为-,f,f 点为牛”，则电流路径

25、是 fbcdaefbcdae。可见，无论次级线圈的输出瞬时电压极性如何，通过电阻 R1R1 上的电流总是从 c c 至 ijdijd。同理，分析另一个次级线圈的输出情况可知：通过电阻 R2R2 上的电流总是从 g g 到 h h。输出电压 U0U0 始终等于 R1R1、R2R2 两个电阻上的电压差。结论：1.衔铁在中间位置时，无论参考电压是正半周还是负半周，在负载为 0 0. .2.衔铁在零位以上移动时，无论参考电压是正半周还是负半周，在负载电压始终为正。3.衔铁在零位以下移动时，无论参考电压是正半周还是负半周，在负载电压始终为负。由此可见，该电路能判别铁芯移动的方向。（2）相敏检波电路输入信

26、号 u2u2（差动变压器式传感器输出的调幅波电压）通过变压器 T1T1 加到环形电桥的一个对角线上。参考信号 usus 通过变压器 T2T2 加到环形电桥的另一个对角线上。输出信号 uouo从变压器 T1T1 与 T2T2 的中心抽头引出。平衡电阻 R R 起限流作用，以避免二极管导通时变压器 T2T2 的次级电流过大。RLRL 为负载电阻。usus 的幅值要远大于输入信号 u2u2 的幅值，以便有效控制四个二极管的导通状态，且 usus和差动变压器式传感器激磁电压 u1u1 由同一振荡器供电，保证二者同频同相（或反相）。4-13差动整流电路输出电压波形结论：铁芯在零位以上或零位以下时，输出电

27、压的极性相反，零点残存电压自动抵消。铁芯在零位以上铁芯在零位铁芯在零位以下RLRL 上的输出电压始终RLRL 上得到的输出RLRL 上得到的输出T2的中心抽头，则U41=42寸4采用电路分析的基本方法， 可求得图4 19(b)电压 。的表达式丫I根据变压器的工作原理，考虑到O、河分别为变压器Tr图49相敏检波电路(4-37)Uo=22RM(4-36)所示电路的输出0R%(R+2RJ2L(4-38)当2与工均为负半周时：二极管 VDZ、VD3 截止，VDVg导通。其等效电路如图4 19(c)所示。输出电压。表达式与式(4 38)相同。说明只要位移AO。，不论2与人是正半周还是负半周，负载电阻与两

28、端得到的电压。始终为正。当AxVO时：2与s为同频反相。不论2与必是正半周还是负半周，负载电阻七两端得到的输出电压。表达式总是为nRrll.Il-0 0%(R+2RJ图名 20 波形图(a)被测位移变化波形图；(b)差动变压器激磁电压波形:(C)差动变压器输出电压波形.(d)相敢检波解调电压波形；(e)相敢检波输出电压波形(4-39)$3涡流式传感器(Eddycurrentsensors)一、电涡流式传感器基本原理涡流式传感器的基本原理：利用金屈导体在交流磁场中的电涡流效应.电涡流：若一金属板置于一只线图的附近，当线图输入一交变电流忖，使产生交变磁通量，金属板在此交变磁场中会产生感应电流，这种

29、电流在金属体内是闭合的，称之为电涡流或涡流.漏流的大小与金属板的电也率“磁导率小犀度 h3 金属板与线图的距离 1 激励电流角频率 s等参数有关.涡流式传感器的变换原理是利用金属导体在交流磁场中的电涡流效应。若一金属板置于一只线圈的附近，它们之间相互的间距为 8,8,当线圈输入一交变电流 i i时，便产生交变磁通量，金属板在此交变磁场中会产生感应电流 i1,i1,这种电流在金属体内是闭合的，所以称之为电涡流或涡流。涡流的大小与金属板的电阻率 p p、磁导率科、厚度 h h、金属板与线圈的距离 8 8、激励电流角频率 3 等参数有关。若固定某些参数，就可根据涡流的变化测量另一个参数。原线圈的等效

30、阻抗z变化:z=z(夕m。)2电涡流传感器的种类电涡流在金属导体内的渗透深度为：说明电涡流在金属导体内的渗透深度与传感器h=5030若固定某些拿数，就可根据涡流的变化测量另一个参数.线圈的激励信号频率有关。故电涡流式传感器可分为直频反射式和低频透射式两类。目前高频反射式电漏流传感器应用较广泛O高频反射式电涡流传感器1.作原理：根据电磁感应定律,当传感器线圈通以交变电流i,时，线圈周围必然产生交变或场名,使置于此磁场中的金属导体中产生感应电涡流/L乂产生新的交变磁场，。一根施愣次定律，将反抗原磁场乩的变化，导致传感器线圈的等效阻抗(或等效电感)发生变化。线圈等效阻抗变化(2)低频透射式电涡流传感

31、器作过程：被测导体变化电涡流变化感应磁场变化传感器线圈低频透射式电涡流传感器工作原理：透射式涡流传感器由发射线圈L,接受线圈L,和位于两线圈中间的被测金属板组成.若在两个线圈之间放置“块金属板时，金属板中产生涡流,涡流损耗部分磁场能量，使到达必的磁场变弱，从而使感应电动势下降.被测金展板的厚度越大，涡流损耗也越大，感应电动势方就越小 w 感应电动势的大小间接反映了被测金属板的厚度。E=kUe,/h式中d金属板的厚度:h一涡流贯穿深度k一比例常数测量厚度时，激励频率应选得较低。频率太高，贯穿深度小于被测厚度，不利于进行厚度测量，通常选激励频率为 1kHz1kHz 左右。测薄金属板时，频率一般应略

32、高些，测厚金属板时，频率应低些。在测量电阻率较小的材料时，应选较低的频率（如 500Hz500Hz）, ,测量 p p 较大的材料时，应选用较高的频率（如 2kHz2kHz）,从而保证在测量不同材料时能得到较好的线性和灵敏度。3电涡流传感器的转换电路板，当在L两端加交流激励电压0时,k两端将产生感应电颍势E若两个线圈之间不存在金帆电涡流传感器转换电路的作用就是将 Z、L 或 Q 转换为电压或电流的变化。阻抗Z 的转换电路一般用电桥，电感 L 的转换电路一般用谐振电路，又可以分为调幅法和调频法两种。电感式滚珠宜径分选电磁炉的工作原理通圈磁质生涡底，为。流线变铁产电锅热内物电磁交在会的使发锄食高过

33、产场锅荒源阴烧的弓刖网也避必财变极距(6)型:(a)、(e)变面积型(A)型:(b)、(c)、(d)、(f)、(g)(h)变介电常数(&)型：(i)(I)电容式传感器结论为了获得高灵敏度,一般6(0.1-lnm)较小.但一do过小易引起电容器击穿或短路心怎么办呢?电容修极距破非线性关系,为了减小非线性误差,3)3)fli)(i)5fli)(i)5阳(1)(1)此类电容传感器仅适于微小位移的测量(0.01即数百微米).变极距型电容式传感器11111=_+=cqgs%sd4*式中工、一云母的相对介电常数，气=7：外空气的介电常数，%=1;4空气隙厚度;4云母片的厚度,可见：云母的相对介电常数（ g=7g=7）是空气介电常数（ 0=10=1）的 7 7 倍，云母的击穿电压1000kv/mm1000kv/mm, ,而空气的击穿电压只有 3kv/mm3kv/mm。因此有了云母片极板间的起始间