管式PECVD插片卸片作业标准指导书SOP-标准版_第1页
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文档简介

1、标标准准作作业业书书 Standard.Operation.Procedure适适用用产产品品 Product:125S、M、156S、M版版次次: Version作作业业名名称称 Station:管管式式PE岗岗位位插插卸卸片片、工具使用需求 Tooling、劳保用品、注意事项No. 工具名称 ToolingQtyNo.名称No.内容1石英吸笔11口罩1调节吸笔真空的大小,石墨舟价格昂贵。2石墨舟12手套(乳胶手套、棉布手套)2石英吸笔,易碎,保持吸笔头的干净,整洁。PEPE岗岗位位插插卸卸片片第第一一步步(插插卸卸片片的的精精髓髓:动动作作要要轻轻、慢慢、稳稳、做做到到无无声声操操作作)S

2、tep1:插卸片的准备Step1:吸笔垫先要压平Step2:把吸笔头清洗干净,用酒精布插试注意:真空力大,容易使吸住的硅片直接爆裂。Step4:吸笔垫贴完后,再把吸笔头压Step3:撕开吸笔膜,从吸笔头的上方开始贴,贴好后在桌上,使吸笔头完全压平再把吸笔膜完全撕掉,顺着吸笔头的方向压平。EditorDateCheckerApprovalPage1确认吸笔上的贴膜,是否干净整洁,24小时更换一次。调节节流阀,控制真空的吸力。PEPE岗岗位位的的插插片片Step1:用右手食指按住吸笔孔,与硅片的上方,平行的吸住硅片Step2:确认吸住硅片后从承载盒内,水平的拉出。Step3:吸住硅片顺着舟叶往下滑

3、。注意:无声操作Step6:硅片卡住工艺点后,食指松开,拉出吸笔。Step5:碰到2号3号工艺点时,要轻轻的接触。Step4:避免碰到1号工艺点,无声操作,往下滑。注意:等硅片卡住之后,再松开,拉出吸笔。注意:接触工艺点时,轻轻的接触,避免卡碎。注意:避开工艺点,小心碰碎EditorDateCheckerApprovalPage2保持平行,不能折硅片,容易破1号2号3号PEPE岗岗位位的的卸卸片片Step1:吸笔贴着硅片的面,平行的下去,吸住硅片。 Step2:吸住硅片后,轻轻往上提,如提不动,在左右晃晃Step3:拉出硅片后,轻轻的放入卸片盒内,确认硅片脱落工艺点后,再拉出。 卸片盒与舟面成60夹角。注意:确认吸笔完全吸住片子,避免片子吸不住,注意:把片子放入卸片盒中,动作要轻,避免硅片从卸片盒导致由于吸笔吸不住,硅片直接掉落。中掉落Step6:正面步骤3Step5:正面步骤2Step4:详细正面步骤1注意:抓卸片盒时,稍微向身体一侧倾斜点。注意:避免硅片与陶瓷垫圈相撞,硅片卸出拉不动时,不能避免卸片盒里的硅片掉落。硬拉,先在工艺点处,轻轻的左右晃晃

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