设备使用问卷调查表

1、設備使用問卷調查表各位用戶及學界先進 您好：感謝您長久以來對國家實驗研究院奈米元件實驗室(NDL)的支持與愛護。提供更專業的全方位服務是我們的責任；使客戶滿意是我們追求的目標，追求世界第一是我們的願景。為了提昇服務品質，本實驗室希望透過NDL的web portal進行客戶滿意度調查，以提升NDL服務品質及行政支援效率。您的寶貴意見是我們改進的重要參考，和未來研究資源運用效率檢討的依據。請您撥冗填寫以下表單，您的協助與意見將使我們更加成長與進步，謝謝您的合作。順頌教安 倪衛新 敬上國家奈米元件實驗室主任國立交通大學TSMC講座教授一、基本資料填寫日期：姓名： 學校/系所(或單位/部門)：職稱：博

2、士班 碩士班 其他聯絡電話： E-mail： 指導教授姓名：指導教授E-mail： 指導教授聯絡電話：二、詳細資料1.請問您是否曾取得NDL自行操作儀器資格： 是 否2.請問您是否曾委託NDL進行代工服務：是 否3.請問您是否曾參加NDL所開設之課程：是 否4.請問您是否曾與NDL共同進行研究計畫推動：是 否 5.請問您目前使用NDL儀器設備所使用的經費多來自於：自費 國科會貴儀 NDL合作計畫 無使用過NDL儀器設備三、網站改版滿意度調查非常滿意滿意普通不滿意非常不滿意您對NDL目前網站首頁編排方式54321您對NDL目前網站提供的資訊內容豐富性54321您對NDL目前網站使用容易度5432

3、1您對NDL目前網站資訊更新速度54321您對NDL目前網站下載速度54321四、技術支援滿意度調查(未使用其他貴儀中心儀器設備者，貴儀中心欄位免填)非常滿意滿意普通不滿意非常不滿意您對儀器設備使用預約上的便利性NDL54321貴儀中心54321您對儀器設備的使用穩定度NDL54321貴儀中心54321您對儀器設備工程師的專業程度及應用經驗NDL54321貴儀中心54321您對儀器設備在違規事項與工安問題的標示明確性NDL54321貴儀中心54321您對儀器設備技術服務服務對自己研究上的幫助 NDL54321貴儀中心54321五、課程規劃滿意度調查非常滿意滿意普通不滿意非常不滿意您對NDL現有

4、開課項目54321您對NDL現有課程規劃內容54321您對NDL講師授課方式、表達能力54321您對NDL課程的收費標準54321您對NDL課程對工作或自己研究上的幫助54321六、合作研究滿意度調查非常滿意滿意普通不滿意非常不滿意您對NDL合作研究案的申請與審核流程54321您對NDL合作研究案服務窗口的服務態度54321您對NDL研究人員的專業素養與研究態度54321您對NDL研究環境的完善程度54321您對合作研究模式對自己研究上的幫助 54321七、營運組製程模組及設備服務滿意度調查(未使用營運組儀器設備儀器設備者免填)1.請問您曾經使用過本實驗室下列何項製程模組及設備服務? (可複選

5、) 頻率請略估：每日、每周、每月、每年微影 (Lithography) 頻率：濕式清洗蝕刻 (Wet Clean & Etch) 頻率：蝕刻 (Etching) 頻率：化學機械研磨 (CMP) 頻率：離子植入(Implantation ) 頻率：電化學電鍍(ECP) 頻率：熱處理製程 (Thermal Process) 頻率：分子磊晶(Epitaxial Growth) 頻率：薄膜沈積 (Thin Film Deposition) 頻率：薄膜特性分析 (Thin Film Analysis) 頻率：奈米碳管 (CNTs) 頻率：電性量測分析 (Electrical Measurement) 頻

6、率：金屬化製程 (Metallization) 頻率：表面污染分析(Contamination Analysis) 頻率：2.請問您對於營運組製程模組及設備服務滿意程度如何?非常滿意滿意普通不滿意非常不滿意機台之維護能力54321對製程技術支援能力54321機台訓練及考核之專業性54321對現有機台預約制度之滿意度54321對現有機台種類及屬性滿意度54321就營運組製程模組及設備所提供的自行操作服務而言，您覺得還有哪些方面可以做進一步的改善： 3.請問您對於營運組委託服務方面，您的滿意度如何? (不曾委託服務者，可免填)非常滿意滿意普通不滿意非常不滿意到目前為止，整個交貨、驗收過程54321

7、代工品質的穩定性54321委託服務時程之長短54321機台委託代工之價位54321就營運組委託服務而言，您覺得還有哪些方面可以做進一步的改善： 八、奈米量測技術組儀器使用滿意度調查(未使用奈米量測組儀器設備儀器設備者免填)1.請問您曾經使用過曾經使用過下列何項分析服務? 或者曾自行操作何項設備?(可複選)頻率請略估：每日、每周、每月、每年場發射掃描式電子顯微鏡 (SEM) 頻率：掃描探針顯微鏡 (SPM) 頻率：歐傑電子顯微鏡 (Auger) & 化學分析電子儀 (ESCA) 頻率：穿透式電子顯微鏡 (TEM) 頻率：X光繞射儀 (XRD) 頻率：試片準備室 (含PIPS ion-mill)

8、頻率：A、如果您是申請委託服務者請填寫此部分n 您申請的是哪一項分析服務? (可複選)場發射掃描式電子顯微鏡 (SEM) 掃描探針顯微鏡 (SPM) 歐傑電子顯微鏡 (Auger) & 化學分析電子儀 (ESCA) 穿透式電子顯微鏡 (TEM) X光繞射儀 (XRD) 試片準備室 (含PIPS ion-mill) n 您對本單位奈米量測分析服務的滿意程度為何？非常滿意滿意普通不滿意非常不滿意您覺得負責分析工程師的技術專業度如何?54321您對分析結果的滿意程度為何？54321n 就奈米量測組委託服務而言，您覺得還有哪些方面可以做進一步的改善?_B、如果您是自行操作者請填寫此部分n 您使用的儀器

9、是下列哪一部?場發射掃描式電子顯微鏡 (SEM) 掃描探針顯微鏡 (SPM) 穿透式電子顯微鏡 (TEM) X光繞射儀 (XRD) 試片準備室 (含PIPS ion-mill) n 您對本單位奈米量測分析自行操作儀器設備服務的滿意程度為何?非常滿意滿意普通不滿意非常不滿意您覺得所提供的儀器設備SOP是否清楚?54321您認為此儀器之訓練與考核，是否讓您對儀器有進一步的認識，避免錯誤操作？54321您認為分析儀器所得之資料對您的研究助益很大嗎?54321n 從訓練、考核、預約到使用儀器，您覺得奈米量測組有哪些項目或流程需要做更好的改善？ C、整體來說，您對於奈米量測組所提供之儀器設備或分析服務的

10、滿意度是？非常滿意滿意普通不滿意非常不滿意整體滿意度54321九、高頻分析組儀器使用滿意度調查(未使用高頻分析組儀器設備儀器設備者免填)1.請問您曾經使用過曾經使用過下列何項分析服務? 或者曾自行操作何項設備?(可複選)頻率請略估：每日、每周、每月、每年奈米元件參數量測系統 頻率：20/50 GHz元件高頻S參數量測系統 頻率：110GHz元件高頻S參數量測系統 頻率：高頻雜訊參數量測系統 頻率：高頻功率參數量測系統 頻率：RFIC量測系統 頻率：元件低頻雜訊參數量測系統 頻率：4-port高頻S參數量測系統 頻率：脈衝式射頻量測系統 頻率：A、如果您是申請委託服務者請填寫此部分n 您申請的是

11、哪一項分析服務? (可複選)奈米元件參數量測系統 20/50 GHz元件高頻S參數量測系統 110GHz元件高頻S參數量測系統 高頻雜訊參數量測系統 高頻功率參數量測系統 RFIC量測系統 元件低頻雜訊參數量測系統 4-port高頻S參數量測系統 脈衝式射頻量測系統 n 您對本單位高頻分析服務的滿意程度為何？非常滿意滿意普通不滿意非常不滿意您覺得負責分析工程師的技術專業度如何?54321您對分析結果的滿意程度為何？54321n 就高頻分析組委託服務而言，您覺得還有哪些方面可以做進一步的改善?_B、如果您是自行操作者請填寫此部分n 您使用的儀器是下列哪一部?奈米元件參數量測系統 20/50 GH

12、z元件高頻S參數量測系統 110GHz元件高頻S參數量測系統 高頻雜訊參數量測系統 高頻功率參數量測系統 RFIC量測系統 元件低頻雜訊參數量測系統 4-port高頻S參數量測系統 脈衝式射頻量測系統 n 您對本單位高頻分析自行操作儀器設備服務的滿意程度為何?非常滿意滿意普通不滿意非常不滿意您覺得所提供的儀器設備SOP是否清楚?54321您認為此儀器之訓練與考核，是否讓您對儀器有進一步的認識，避免錯誤操作？54321您認為分析儀器所得之資料對您的研究助益很大嗎?54321n 從訓練、考核、預約到使用儀器，您覺得高頻分析組有哪些項目或流程需要做更好的改善？_C、整體來說，您對於高頻分析組所提供之

13、儀器設備或分析服務的滿意度是？非常滿意滿意普通不滿意非常不滿意整體滿意度54321十、南科(奈米結構製造組)儀器設備滿意度調查(未使用南科儀器設備儀器設備者免填)1.請問您曾經使用過本實驗室下列何項製程模組及設備服務? (可複選) 頻率請略估：每日、每周、每月、每年化學氣相沈積&電感藕合蝕刻(PECVD&ICP)頻率：熱蒸鍍機(Thermal coater) 頻率：反應式離子蝕刻(STS)頻率：原子力顯微鏡(AFM) 頻率：金屬濺鍍系統(Sputter)頻率：表面輪廓量測儀(Profile meter) 頻率：電性量測系統(HP4140B&HP4145B)頻率：膜厚量測(N&K 及 M-gag

14、e) 頻率：電子顯微鏡(SEM)頻率：爐管(Furnace) 頻率：光阻塗佈及顯影系統(Track)頻率：溼式蝕刻(Wet bench) 頻率：光罩對準曝光系統(Aligner)頻率：手動旋乾機(Hood內之手動機台) 頻率：2.請問您對於南科製程模組及設備服務滿意程度如何?非常滿意滿意普通不滿意非常不滿意機台之維護能力54321對製程技術支援能力54321機台訓練及考核之專業性54321對現有機台預約制度之滿意度54321對現有機台種類及屬性滿意度54321就南科製程模組及設備服務自行操作而言，您覺得還有哪些方面可以做進一步的改善： 3.請問您對於南科委託服務方面，您的滿意度如何? (不曾委託服務者，可免填)非常滿意滿意普通不滿意非常不滿意到目前為止，整個