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文档简介

1、电子探针的原理电子探针的功能主要是进行微区成份分析03用细聚焦电子束入射样品表面，澈发出样品 中各元素的特征（标识）X射线：定性分析分析特征X射线的波长（或特征能量）， 得到元索的种类；定量分析-分析特征X射线的強度，得到样品中 相应元素的含量电子探针仪的结构电子探针仪主要由电子光学系统、X射线谱仪、 样品室、扫描显示系统、计算机与自动控制系 统、真空系统及一些必要的附件组成。电子探针仪常与扫描电镜组合在一起。电子探针的信号检测系统是X射线谱仪：波长分散谗仪（WDS）,简称波谱仪，用来测定 特征X射线波长；能量分散谱仪（EDS）,简称能谱仪，用来测定X 射线特征能童。XY记竄仅灾尤风打印昌il

2、分析仪EDS?hulT玫大» tt大»SI13-1屯子界针仪的給枸示慧图波谱仪（VCDS）组成：波谱仪主要由分光晶体和x射线检测系统 组成。原理：根据布拉格定律，从试样中发出的特征x 射线，经过一定晶而间距的晶体分光，波长不 同的特征X射线将有不同的衍射角。通过连续地 改变e,就可以在与X射线入射方向呈20的住置 上测到不同波长的特征x射线信号。根据莫羣莱 定律可确定被测物质所含有的元素。为了提离接收x射线強度，分光晶体通常使用弯 曲晶体。弯曲分光晶体有两种聚焦方式：约翰型聚建法：晶体曲率半径是聚焦圆半径的两倍;釣翰逊型聚焦法：品体曲率字径和聚焦圆半径相等6。波谗谱线图能谱

3、仪(EDS)誓种元素都有自己的特征x射线波长，特征波长的 大小取决于能级跃迁过程中释放出来的能量。能谗 仪就是利用不同元素持征x射线光子能量不同的特 点来进行成份分析的。能谱仪的关键部件是锂漂移硅半导体探测器，习惯 上记作Si(Li)探测器。工作原理：X射线光子进入Si晶体内？将产生电子一 空穴对，在100K左右温度时，毎产生一个电子一空 穴对消耗的平均能壹为3.8cVa能量为E的X射线光子 所激发的电子一空穴对数N为N = E/&入射X射线光子能量不同，所激发的电子一空穴对数 N也不同，探测器输出电压脉冲离度由N决定。310-能诺和波谱谱线比较FcIGAR it fit*MaK«F«c© NiK,IkAA AOJ370210 乂ss $=««抜Kg(b) IM比tt波谱仪(WDS)与能谣仪(EDS)比较比恢* WDSEDS卜以小/启J分乙体匹人元姑分圻丰寻依拴乳器元去同片堆刘伎二的卒V岛(mo)低门m/35>低&'栓汀:欽卒低.随歿九而芟化.瓠一定条存丁是伤软定还分析0良仪器蛉殊桂多个分无鬥依JJ£般头姣3川电子探针仪分析方法定性分析

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