EL-C检测仪说明书1

1、沛德光电科技（上海）有限公司ASIC TECHNOLOGY (SHANGHAI) CO., LTD.太阳能电池片电致发光缺陷检测仪型号（Type）：EL-C操 作 手 册2010-11-01 Made by ASIC（Shanghai）目录（一）设备简介3（二）操作步骤7（三）调试步骤8（四）注意事项12（五）维护保养13（六）附件 15（一）设备简介太阳能电池片电致发光缺陷检测仪，是依据硅材料的电致发光原理对电池片进行缺陷检测及生产工艺监控的专用测试设备。1.设备硬件介绍：（1） 主要组成零件 A.暗箱(双层铝塑板制成之暗室，极其低的NIR讯号的收集)B.电源供应器(10A/60V恒流稳压

2、输出)C.工业级近红外和远红外相机(电子制冷装置)D.内缩式探针(单排12探针，实现双排Cell或三排Cell量测)E.高传导铜制载物台(全面平载待测物，不易造成裂片)F. 水平方向传输载物台， 竖直方向探针下压后上电(安全缓冲装置)（2）暗箱本EL-C设备是使用铝塑双层板隔绝微弱光进入，使用过程中，须确保CELL置放入口之门为紧闭状态。（3）电源供应器 a.电源参数设置一般情况电池片正向偏压测量时，单晶电池片电流设置为5A，多晶电池片设置为7A。电池片反向偏压测量时，一般电压设置为12V。b恒流稳压电源使用方法：按下POWER按钮，启动恒流稳压电源。 在跟换电池片，需要改变输出电流、电压大小

3、的时候，先按下LOAD按钮，保持OUTPUT显示灯不亮的状态，调节电流、电压旋钮，调节到需要的电流、电压示数，再按下LOAD按钮，保持OUTPUT显示灯亮着的状态，这个时候恒流稳压电源才有输出。c. 工业级近红外相机近红外相机规格一览表d.内缩式探针排针模式，弹性探针设计，避免压坏待测电池片。可以自行安装双排模式、三排模式。156吋应用，使用12个探针125吋应用，使用10个探针 (取 下各排1号探针及12号探针)特殊应用时，应适当取下探针，避开探针触及到平台e.高传导铜制载物台125吋应用，将其白色定位片置放于内侧点156吋应用，将其白色定位片置放于外侧点125时应用，将两根一字形铜条插在3

4、、5两个位置156时应用，三栅线时，将三根一字形铜条插在1、4、7三个位置；两栅线的距离为75时，将两根L形铜条背靠背，分别插在2、6两个位置;两栅线的距离为78时，将两根L形铜条面对面，分别插在2、6两个位置f. 水平方向传输载物台， 竖直方向探针下压后上电 水平方向汽缸用来传输电池片，竖直方向汽缸用于探针的下压，给电池片上电。（二）操作步骤1外部气源、电源OK时，检测仪初始状态为：载物台在暗箱外面。2放入电池片后，按下绿色按钮。3载物台进入暗箱。4把转换开关扭到1的位置，进行电池片正向偏压测试，完成之后，把转换开关扭到2的位置，进行电池片反向偏压的测试。5测试完成，按下绿色按钮。6载物台出

5、来，跟换电池片，重复步骤2。（三）调试步骤1打开EL软件。软件可分为两个模式：操作模式&校准模式。 （1）校准模式参数设置：主要参数有曝光时间、增益、对比度和伽马。用户可根据产线需要进行调整，一般情况曝光时间设置为5-15S，增益设置为3040左右，对比度设置为1020，伽马设置为1。如需对时间进行修改，对应的增益值也要做相应的改变，以获得最佳效果的主观判断为止。 参数保存: 为方便大家使用，软件可对参数保存管理。新建参数： 启动相机前，点开参数中的下拉框，选择new property，此时名称中的命名会随之变为New property。参数调整：根据产线需要调整参数，见上图保存参数：

6、在名称栏中对此组参数进行命名，点击保存设置。参数调取：启动相机前，点开参数中的下拉框，选择你需要的参数。然后启动相机，即可使用。 （2）操作模式 保存文件：在操作模式中可以将图片的保存路径设置为需要的文件夹同时可根据需求对图片格式进行更改 。预览模式：对之前拍摄的进行重新预览，便于分析。 缺陷判断分类此功能可以对缺陷进行人工的分类，以便于我们对缺陷进行进一步的分析。拍摄完图片后，软件会自动显示出当前拍摄出的图片，在操作模式中先进行人工地判断，再点选相应的缺陷选项进行分类。*温馨提醒：客户可在软件里对频繁出现的缺陷种类进行修改修改方法：在EL软件的安装路径下找到SelectPath.ini文件，

7、对questions1，question2等号后的名称进行自定义修改，这样重启软件后会在操作界面有所需要的缺陷种类显示，以便于缺陷的分类。2点启动相机，切换到校准模式，一般情况测试时间设置为6s，增益为3040左右，对比度为1020，伽马值为1（需要点击左右翻转按钮，让EL图像与待测电池片的位置相对应）3.切换转换开关的正向偏压和反向偏压，进行测试。4.需要保存图片时，点击拍照，软件会在保存路径下，自动生成一个当前日期命名的文件夹，所拍摄的图片会自动保存到当前日期命名的文件夹里面。（四）注意事项1、 禁止触碰相机及镜头。2、 禁止随意触动探针栅线及探针。3、 保持暗室及EL机构清洁，保持设备供

8、电正极（即铜制电池片放置平台）整洁。4、 在156*156电池片与125*125电池片分别测量更换探针栅线时，注意要更换限位块的位置，以及两种电池片切换时，探针栅线两侧探针的拔插，避免正负极短路或电流不均匀。5、 使用移动存储设备拷贝数据时，必须先对其格式化，避免病毒传染。6、 如若一段时间不用则应关闭相机软件，同时关掉CCD制冷电源。7、 如若软件启动异常，则除去多余的USB设备或U盘等外设。8、 在不使用检测仪的时候，应在载物台上放置黑色的绝缘片，一方面：确保暗箱里面没有电池片，以免把电池片遗忘在暗箱里面，另一方面：确保载物台上没有电池片的时候，载物台在暗箱外面，以免在载物台上没有电池片的

9、时候进入暗箱里面，进行正负极切换或打开暗箱门的时候对工作人员造成危险。（五）维护保养1、 维护本EL检测仪并无过多耗损零件，主要维护零件NIR工业相机 a应确TE-Cooling电源是否接上b确认相机风扇是否运作c保持工作环境温度为摄氏25度Cd相对湿度50%以下e避免相机接近水气环境f相机焦距，装设时己调整最佳位置，严禁自行调整g相机定位后，非本公司工程人员，请勿移动或松开零件电源供应器，此电源为10A/60V之电源供应器a.严禁正负极短路接法b.电源设定，c.遵循由小电流续加至大电流d.遵循由小电压续加至大电压e.量测过程中，高负载，易生成极高温度，应注意量测后，随即取出待测物，避免持续通

10、电，产生高温进而烧毁电源f.如设备长时间不使用状态下，应习惯关闭电源开关g.不置于密闭空间、与邻零件适当距离，保持散热空间h.避免电源接近水气及油气环境i.严禁易燃物品靠近微调气压阀a.避免供气中断b.不使用时，载物台在暗箱外面，避免正负极短路c.使用切换勿过度急速d.气压阀出厂设定为最佳速度，变动容易增加耗损排式探针a.勿过度折损b.探针设计，可以拆卸，拆卸探针应加以保存c.量测使用中，严禁碰触探针2、 保养本设备，应该年度做相关保养)NIR工业相机 a.建议相机进行年相关保养b.电子致冷确认c.噪声确认d.检测相机内部真空是否异常量测平台a.于断电状况下，使用干净无尘布擦拭b.使用IPA进行清洁保养（六）附件A. Conformity CellB. Wafer Contaminatio