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文档简介

1、黄瑶妹自动化与电气工程学院电传1002真空镀膜机的电气控制系统指导老师：李聪2目目 录录34设计任务设计任务5系统整体设计方案系统整体设计方案1研究背景和意义研究背景和意义系统设计具体的方法系统设计具体的方法总结总结1、研究的背景和意义、研究的背景和意义 真空镀膜的优点比化学镀膜多的多，主要有： 1、真空镀膜不会损坏薄膜材料； 2、镀制出来的成品寿命比化学镀膜多出好几倍。 3、可以镀制各类金属或者非金属的材质，种类丰富； 4、镀膜过程都是在真空环境下，出现较少的杂质，环境污染小； 5、符合当代绿色发展的要求。2、设计任务、设计任务 本控制系统主控单元采用PLC通过上位机设置对纸张力、电机速度、

2、蒸发舟的状态和蒸发量等工艺要求参数的控制。实现以下几个主要功能：1、PLC能与上位机进行通信，接受上位机参数的设置；2、进行机械联动及电机转速检测控制；3、进行张力的自动控制，找出影响张力的物理因素；4、对蒸发舟的状态检测和控制，也就转化为对镀膜厚度的自动 控制；5、具有对变频控制器输入控制。 3、真空镀膜机的整体方案设计、真空镀膜机的整体方案设计3、真空镀膜机的整体方案设计、真空镀膜机的整体方案设计 真空镀膜机主要由镀膜系统、真空系统、卷绕系统、电控系统及辅助部件构成，简图如上图所示。1、镀膜系统是用于完成基材镀膜的地方；2、真空系统主要是为镀膜部分制造一个高真空的环境，为得到良好的蒸镀效果

3、；3、电气控制系统主要来控制真空室中机械泵、扩散泵等的启停、相应阀门的开关量以及相应泵的指示灯和故障告警等，它是真空镀膜机的一个重要环节；4、卷绕系统主要负责放膜、镀膜、收膜，和镀膜室是相结合工作的。真空系统真空系统 对镀膜室抽真空是整个系统设计的关键环节，选取性能良好的真空泵对蒸镀效果起着重要作用。在本设计中，采用的是从抽粗真空到高真空的过程，并采用了前级泵机械泵和低真空泵罗茨泵），这样达到的真空能满足设计的要求。选型如下表所示名称机械泵1机械泵2罗茨泵扩散泵维持泵型号2X-70A2X-70AZJP-600K-8002X-15功率5.5KW5.5KW7.5KW8.4KW2.2KW真空系统真空系统 真空度的测量由热偶规管和电离规管组成的复合真空计完成，将测量到的实时数据首先会传到PLC的数字/模拟

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