单晶炉机械结构

1、1会计学单晶炉机械结构单晶炉机械结构拉制单晶棒（本产品研究环节）石英砂金属硅 多晶 单晶硅棒 单晶硅片 集成电路 太阳能电池 太阳能电池应用 集成电路应用 加热器籽晶CCD坩埚提升旋转机构坩埚籽晶提升旋转机构单晶棒液面测温仪热场测温仪氩气流量炉体电控柜电源柜总重拆装钢丝绳时缆索管位置 取出压力辊子组件 右端盖 左端盖取出右端盖花键轴、缆索管取出晶转磁流体10拆下提升腔右端盖的4颗螺钉。11拆下提升腔左端盖的盖板，用铜棒敲击花键轴，将 其向右端推出，同时顺时针旋转花键轴使得缆索管从铜螺母的螺纹上脱开，将花键轴、缆索管、右端盖以及晶转磁流体密封作为一个整体从提升腔内抽出。12用小拉马取下花键轴左端

2、的滚动轴承。13松开并取下把花键轴滑套固定到缆索管上的4颗螺钉。9松开压力滚子组件固定到提升腔上的4颗螺钉，拆下 压力滚子组件。14将缆索管从花键滑套上拉出，小心，不要把滑套拉出花键轴，否则，滚珠将会从滚槽中掉下来。左端盖及铜螺母对中针缆索管的对中1、使用0.2mm的塞尺塞入离合器，当离合器通电时，固定离合器右侧的定位螺钉。2、离合器断电，取出塞尺，重新通电，检查是否吸合。3、离合器断电，用0.2mm的塞尺检查间隙是否有变化。4、反复测试几次，至离合器吸合、分离正常。设备名称维修周期步骤籽晶钢缆每次运行检查磨损、损坏情况籽晶提升滑轮及卷丝轮每个月清洁并检查对中性晶转和晶升皮带3个月检查磨损/对

3、中和张力晶转、晶升电机噪声、刷磨损3个月检查碳刷长度联轴器紧定螺钉3个月检查紧固性晶升离合器组件的调整3个月检查离合器间隙及动作拆旋转皮带松开3个紧定螺钉取下旋转接头和冷却管取下波纹管取夹紧圈和旋转带轮抽出坩埚轴拆下固定磁流体的螺钉提起磁流体设备名称维修周期步骤坩埚轴冷却胶管每个月检查裂纹及损坏情况埚转、埚升驱动皮带3个月检查磨损、对中和张紧埚转、埚升电机驱动装置3个月检查所有螺钉的紧固埚转、埚升电机噪声、刷磨损3个月检查碳刷长度波纹管3个月检查损坏情况丝杆3个月清洁和润滑铜螺母3个月检查磨损情况滚珠直线导轨6个月清洁和润滑丝杠轴承6个月脂润滑坩埚轴每年检查磨损和对中1、将副炉室升起，旋开。2

4、、确认O型圈已经装好，把翻板阀关闭。3、用5mm的内六角扳手和17mm的呆扳手把翻板阀两端的固定螺钉松开。4、打开真空泵，真空球阀，抽取主炉室真空。5、利用主炉室内外压差，翻板阀会自动吸紧。6、当压力抽到极限真空时，将翻板阀两端的固定螺钉上紧。7、充入氩气，做一次隔离实验以确保翻板阀调整后密封良好。松开外端的2只外六角螺钉松开内端的2只内六角螺钉采用光学系统将晶体图像分到2个独立CCD完成引晶、等径的单独控制。图像处理速度快，引晶跟踪能力强，引晶效果好机械调整简单拆装钢丝绳时缆索管位置 取出压力辊子组件 右端盖 左端盖取出右端盖花键轴、缆索管取出晶转磁流体10拆下提升腔右端盖的4颗螺钉。11拆

5、下提升腔左端盖的盖板，用铜棒敲击花键轴，将 其向右端推出，同时顺时针旋转花键轴使得缆索管从铜螺母的螺纹上脱开，将花键轴、缆索管、右端盖以及晶转磁流体密封作为一个整体从提升腔内抽出。12用小拉马取下花键轴左端的滚动轴承。13松开并取下把花键轴滑套固定到缆索管上的4颗螺钉。9松开压力滚子组件固定到提升腔上的4颗螺钉，拆下 压力滚子组件。14将缆索管从花键滑套上拉出，小心，不要把滑套拉出花键轴，否则，滚珠将会从滚槽中掉下来。左端盖及铜螺母对中针缆索管的对中拆下固定磁流体的螺钉提起磁流体设备名称维修周期步骤坩埚轴冷却胶管每个月检查裂纹及损坏情况埚转、埚升驱动皮带3个月检查磨损、对中和张紧埚转、埚升电机驱动装置3个月检查所有螺钉的紧固埚转、埚升电机噪声、刷磨