洁净室施工规范(FPC)

1、1目的：規範潔淨室設備機台移入及包商施工作業方式,避免破壊潔淨室潔淨等級。2範圍:潔淨室內所有設備機台移入，設備、廠務外包施工作業等。3.作業方法：3.1設備機台移入3.1.1移入所需工具：3.1.1.1開關設備取物門、庫板：、吸盤、套筒（或活動板手）。3.2清潔機台：pvc手套、ipa、無塵拭紙。3.1.1.3移入：油壓板車、鋼板、橡皮或pvc墊片、木頭（需用膠帶作包覆）。3.1.2移入流程：3.121緩衝區以一-般吸塵器及拖把清潔。3.1.2.2機台首先吊至緩衝區，將出入門關閉，地面清潔後，以ipa作機台清潔、擦拭。（清潔 重點：機台平面、內部、凹凸槽以及輪子等）3.123移入機組較多，緩

2、衝區無法一次容納時應分段施作、每次均在機組吊至緩衝區後將出入 門關閉、清潔機台，移入並關閉庫板完成才可進行下段流程。出入門與庫板絕不可同時 開啓。3.124庫板拆卸時，需將空調箱外氣量加大，確保潔淨室維持正壓。3.1.2.5庫板拆卸後，出入口以黏崖墊覆蓋，u型槽拆卸地面以工業膠布貼覆，避免發庫。3.1.2.6油壓板車、薄鋼板及須進人潔淨室之機具，以ipa擦拭清潔後，方可進入，若需使用堆 高機設備，動力採用電池式。3.127機台重量超過1000kg時，地面應鋪設薄鋼板，避免刮傷地板。328設備定位時，支撐腳應鋪不銹鋼墊片或潔淨室專用墊片，移出機具业將活動門以ipa擦 拭後復原。3.129潔淨室移

3、入動線以潔淨室專用吸塵器清潔及擦拭。3.1.2.10通知品管檢測潔淨室particle。3.3注意事項：3.i.3.1機台清潔及移入全程，人員應戴pvc手套，避免指紋和particle污染設備。3.1.3.2鋼板進入潔淨室須擦拭清潔，木塊須用工業膠布纏包覆後，進入潔淨室。3.1.3.3吸塵器使用前，應檢查hepa集塵袋是否飽和。3.1.3.4機台擦拭力求徹底，庫板及出入門開啓力求縮短時間。爲爭取時效'必耍時工務得提出 需求'請生產線人員支援，以順遂工作之進行。3.1.3.5設備採購時，得耍求廠商在機台山廠前作好清潔及包裝，以減少事後清潔之死角。3.2包商施工：3.2.1施工規範

4、：321.1施工人員應穿著施工用無塵衣'避免弄髒污染生產人員無塵衣。並遵守本公司潔淨室 3.2.1.2進入潔淨室之工具、管材、樓梯等，須先擦拭乾淨才可進入。321.3管材須切割，應拿出潔淨室外施作，完成後擦拭清淨才可攜入。3.2.1.4施工中需在庫板挖孔者，在裁切同時，另一人在旁以潔淨室專用吸塵器吸塵清潔，配 管完成應以silicon作氣密。32.1.5監工人員應準備pvc手套數雙及無塵拭紙，供施工人員髒污或破損時，清潔更換。3.2.1.6潔淨室內嚴禁使用燒焊。321.7完工後檢查項目：項目管路是否固定牢固'暂壓是否合格天花板、機台是否歸定位天花板、牆面是否有指紋及髒污施工區域

5、是否清潔乾淨是否破壞氣密，是否有打silicon廢料、樓梯等是否已攜出潔淨室通知品管部再次檢測潔淨室particle3.3宣達與管理：3.3.1潔淨室內使用設施或維修施工採購時，採購部應對廠商提示此規範，並列入合約扣款項目中。3.3.2施工前由負責單位工程師塡寫潔淨室進入申請單申請進入潔淨室。ii口頭向廠商施工人 員宣達需遵守潔淨室規範。3.3.3施工人員需在許可活動區域範圍活動，負責工程師須預先告知，且儘可能全程陪同。3.3.5管理流程採購提示潔淨室規範3.3.4本公司任何人員對違反規範之行爲'均有立即扌旨正，耍求改善之權力與義務。施工前負責部門之擔當工程師提出進入潔淨室申 請'經製造部門主管核準後'始可進入擔當工程師全程陪同''怖工"擔當工程師口頭宣達潔淨室規範，並請 廠商在申請單上簽名確認製造部課長指定工程師施工結束，離開確認並繳回申請單或舗班軌行稽核予當班丁稗師或