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文档简介
1、压力测量-电容式薄骥压力传感靄现代电容式薄膜绝对压力传感器原理I通过真空泵维 持在高真空参 考压力下MKS Confidential 1压为测量-一个完整的传感器-压力传感器+信号控制电路MKS Confidential 2压力測量电容式溥原压力传感器现代电容式薄膜差压式压力传感器原理1 e n j ih11 r1 WU -Hl 1J|_114MHA"2 ?电了组件-.AHU压力测量电容式IO舅压力传感器温度控制的薄膜压力传感器-范围及输出MKS Confidential 7MKS Confidential #举例：IT。"满量程压力传感器-S牌朋FMKS Confiden
2、tial #压力测量-电容式薄膜压力传感器MKS Confidential 8压力测量-电容式薄膜压力传感器ControlRangeReadingRangeZeroingPressure10V1.0.011mV1000 Torr温度控制的薄膜压力传感器 系列ControlRangeReadingRange10 Torr1.0.01ZeroingPressure10V1mV0.1 Torr100010010110_110_210-310-410-510-610-7MKS Confidential 9压力测量-电容式薄膜压力传感器Confidential 10压力测量-电容式薄膜压力传感器零点、满
3、量程及线性显示压力Confidential 11电容式薄膜压力传感鬍压力溉压力测量-电容式薄膜压力传感鬍MKS Confidential 13MKS Confidential #零点调整输出信号用螺丝刀进"行零点调整1或在显示/控制仪O 上实施零点修正MKS Confidential 14MKS电容式薄籐压力传感11系列600系列Baratron®电容式薄膜压力传感器A满量程范围：20mT25kTA精度:读数值的0.12%A分辨率:满量程的0.001%A温度控制:环境温度,45eCor 100 °CA温度系数零点:0.002%满量程./° C增益：0.0
4、2%读数值/° CA两个继电器控制点可选A电源电压：±15VDCA输出信号：010VMKS Confidential 16MKS电容式薄膜压力传感器系列700 系列 Baratron® 电容式薄膜压力传感器890/892压力传感器满量程范围：203000PSI精度:读数值的±1%电源电压：+13VDC+32VDC 输出信号：010V05V4 20mA中等性能价格便宜紧凑型尺寸满量程范围:1T 1000T精度:读数值的±0.5%温度控制:环境温度，45°Cor100 °C电源电压：±15VDC或+24VDC输岀信号：
5、010V或 05VMKS Confidential 17KS电容式薄牍压力传感器系列ModelTempTrip RelayComm PortDual RangeEtchSmall Size622AAmbientNOTerminal StripNONONO623AAmbientYES1 5 pin-DNONONO624B45 °CYES1 5 pin-DNONONOD24B45 °CYES1 5 pin-DYESNONO625B100 °CYES1 5 pin-DNONONOD25B100°CYES1 5 pin-DYESNONO626AAmbientNO
6、1 5 pin-DNONONO627B45 °CNO1 5 pin-DNONONO627C45 °CNOEtherNetNONONOD27B45 °CNO1 5 pin-DYESNONOE27B45 °CNO1 5 pin-DNOYESNOE27C45 °CNOEtherNetNOYESNO628B100 °CNO1 5 pin-DNONONO628C100 °CNOEtherNetNONONOD28B100°CNO1 5 pin-DYESNONOE28B100°CNO1 5 pin-DNOYESNOE2
7、8C100°CNOEtherNetNOYESNO629B45/1 00 °CNO9 pin-DNONONOE29B45/1 00 °CNO9 pin-DNOYESNO631 A150/200 °CNO1 5 pin-DNONONO631 B150/200 °CNO1 5 pin-DNONONO632B150/200 °CYES1 5 pin-DNONONO722AAmbientNO9/1 5 pin-DNONOYES727A45 °CNO9/1 5 pin-DNONOYES728A100 °CNO9/1 5 pin-DNONOYESDMA-AmbAmbientNODeviceNetNONONODMA-4545 °CNODeviceNetNONONODMA-8080 °CNODeviceNetNONONOMKS电容式薦膜压力传感霜亀
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