微光学元件复制技术简介

1、微光学元件的复制微光学元件的复制技术技术表面浮雕衍射光学元件 表面浮雕衍射光学元件（DOE）是利用衍射光学效应来实现其消色差，提高成像质量的一类浮雕光学元件。 光刻胶作为记录介质，实现了高衍射效率，深槽，表面浮雕的微观结构制作。 在热压印的情况下，深槽，高纵横比的立体全息图不能真实地再现；并在模制的紫外线固化液体树脂的情况下，在模具的深槽仍滞留紫外线固化树脂的残基。无法实现高的复制效率。干性光聚合物紫外成型压模（DPE）技术 1948年在杜邦公司的实验室，第一个实用的干光聚合物由Louis Plambeck 博士发明。 此后各种干光聚合物薄膜对不同的应用进行了商业化。如杜邦公司的产品Dycry

2、l，Lydel，Riston，Cromalin，Cyrel，是全球知名的贸易商标。 杜邦公司为实现对高衍射效率效，深槽、表面浮雕形的微光学元件高复制效率。推出了一种复制高衍射效率、高纵横比的浮雕形光学元件的干性光聚合物SURPHEXTM。干性光聚合物干性光聚合物SURPHEXTM光聚合物成分在光敏聚合物层的重量比：干性光聚合物SURPHEXTM应用于高衍射效率、浮雕形微光学元件的干性聚合物还包括其他成分，如增塑剂，抗氧化剂、荧光增白剂，紫外辐射吸收材料，热稳定剂，氢供体和脱模剂。干性光聚合物干性光聚合物SURPHEXTM几类干性光聚合物SURPHEXTM说明和潜在应用：干性光聚合物干性光聚合物

3、SURPHEXTM膜的性能膜的性能SURPHEX膜厚度为膜厚度为25m紫外到近红外的透射光谱紫外到近红外的透射光谱干性光聚合物干性光聚合物SURPHEXTM膜的性能膜的性能厚度为厚度为25m的的SURPHEX固化膜的红外透射光谱固化膜的红外透射光谱 可见可见SURPHEXTM膜在波长膜在波长5002000nm范范围内透过率为围内透过率为98一一99，在，在2.525m范范围也具有较高的透过率。围也具有较高的透过率。 所以，复制的微透镜可以应用于可见光、红所以，复制的微透镜可以应用于可见光、红外波段，透射性能良好。外波段，透射性能良好。干性光聚合物干性光聚合物SURPHEXTM膜的性能膜的性能S

4、URPHEX固化膜差分扫描热量曲线固化膜差分扫描热量曲线SURPHEX固化膜差分扫描热量曲线分析 -40C至+105C固化SURPHEX膜之间的热稳定 在+110C DSC薄膜样品开始软化 在+145C，它成为微褐色，这可以归因于膜的153.57下的分解DPE复制技术的工艺流程复制技术的工艺流程首先在基底上压制首先在基底上压制SURPHEXTM膜，并去掉其表膜，并去掉其表面的保护层；面的保护层；然后进行压模使然后进行压模使SURPHEXTM膜和印章紧密的结膜和印章紧密的结合在一起，压力大小与优化记录在压模的槽的合在一起，压力大小与优化记录在压模的槽的宽宽/深比有关；深比有关；再对其进行紫外光曝

5、光，再对其进行紫外光曝光，5-15秒左右；秒左右；最后把印章和复制好的元件进行分离。最后把印章和复制好的元件进行分离。干性光聚合物干性光聚合物SURPHEXTM复制品性能复制品性能 复制品质量测试实验复制品质量测试实验DPE复制品在高速电机光学调准，通过电视监视器上观复制品在高速电机光学调准，通过电视监视器上观看交叉扫描点位置（看交叉扫描点位置（200倍放大）。复制品在倍放大）。复制品在10.000 rpm的速的速度，在度，在35下下200小时恒温封闭箱每隔小时恒温封闭箱每隔24小时测量下面数据，小时测量下面数据，同时保持激光二极管和激光器温度常数：同时保持激光二极管和激光器温度常数：1、目视检测DPE的复制品的物理变化；的复制品的物理变化；2、三个方向点大小（微米）；、三个方向点大小（微米）；u 零度或交叉扫描零度或交叉扫描u45度（顺时针方向）度（顺时针方向）u90度或在扫描度或在扫描3、衍射效率、衍射效率4、点移动量、点移动量干性光聚合物干性光聚合物SURP