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文档简介

1、真空吸笔使用规范真空吸笔使用规范使用真空吸笔的目的一、避免wafer的正面在传递和转移中和其他物体有物理接触。从而把particle和scratch等造成的不良降到最低。二、用手和镊子夹去wafer的情况要尽量避免和杜绝。正确的使用方法示范l step 1: 首先把cassette放置在作业台上，并保证放置平稳，方便操作。放置平稳，方放置平稳，方便操作便操作正确的使用方法示范l step 2:认真检查cassette放置方向是否正确。 cassette内的wafer是否有方向防反的现象。检查检查wafer的方的方向是否正确，确向是否正确，确保方向一致。保方向一致。正确的使用方法示范lstep

2、3： 拿紧真空吸笔，用食指夹紧开关的前端，拇指推动开关。拿稳吸笔，用拇拿稳吸笔，用拇指控制开关。指控制开关。正确的使用方法示范lstep 4: 笔头平行轻触wafer背面，并确保笔头完全和wafer接触，吸稳wafer。笔头完全和笔头完全和wafer接触，接触，防止吸力不足防止吸力不足而导致滑落。而导致滑落。正确的使用方法示范lstep 5: 以wafer的背面为着力点，垂直将wafer抽出。速度保持平稳。垂直平稳抽出，以wafer背面受力，并保持wafer正面不受力。以以wafer的背面为受的背面为受力点，避免正面和力点，避免正面和cassette摩擦。摩擦。正确的使用方法示范lstep 6

3、:将cassette倾斜一定角度，将wafer对好要放置的位置。倾斜一定角度，并倾斜一定角度，并将将wafer对准位置，对准位置，避免错位。避免错位。l step 7: 以wafer的边缘和背面为受力点，插入cassette插入wafer，避免正面和cassette产生摩擦。以以wafer背面和边缘背面和边缘为受力点插入。为受力点插入。lstep 8： 笔头前端和前一片wafer平齐时。关闭真空开关。使其轻轻滑入cassette。笔头不要没入笔头不要没入wafer内，避免与邻近的内，避免与邻近的wafer光面接触到。光面接触到。l step 9： 关闭真空开关，使wafer边缘和背面与cass

4、ette接触并轻轻滑落让让wafer轻轻滑落轻轻滑落入入cassette。错误的使用方法错误的使用方法l以下列举几种错误使用方法，请大家在今后的使用过程中坚决避免！错误的使用方法未垂直抽取未垂直抽取wafer，造成，造成与领近的与领近的wafer摩擦。摩擦。错误的使用方法未垂直抽取未垂直抽取wafer，造，造成与领近的成与领近的wafer摩擦。摩擦。错误的使用方法笔头插入过深，容笔头插入过深，容易造成邻近的易造成邻近的wafer划伤。划伤。错误的使用方法笔头插入过深，容笔头插入过深，容易造成邻近的易造成邻近的wafer划伤。划伤。错误的使用方法摆放错位！摆放错位！错误的使用方法 摆放错位！摆放错位！错误的使用方法 摆放错位！摆放错位

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