PVD真空镀膜机作业指导书

1、PVD 真空镀膜机作业指导书一.开机唐1.检查水路是否畅通，确定冷却塔、激进泵是否正常工作（水压需达到 0.4Mpa 以上） 。芃 2. 检查气路是否畅通，确定空压机是否正常工作（气压需达到0.5Mpa） 。袁 3 开启电源开关，打开开机 、 维持泵开关，待真空计的热偶计读数在10pa 以下时， 打开 扩散泵温控仪1、2 ， 扩散泵1、 2四个开关。即扩散泵升温（大约1 小时左右） 。薁 4. 距加热时间约 10 分钟左右，开启低温捕集器，待6分钟冷却时间过后，按F1»启动低温捕集器。待温控仪 上的设定温度达到时，即可正常生产操作。薅 二生产操作箍1.确定真空室内膜料、离子源灯丝、工

2、件架已按要求放置完毕。蚀 2. 开启粗抽泵 ，将抽气手自动档切换至自动档，打开自动抽气开关，待真空室大门吸合即可。蚁 3. 当罗茨泵自动开启时，按低温捕集器F2 ，开启捕集器制冷功能。噩4.此操作应工艺的不同而有较大的变化，此处不一一详 述，即为口述。蒙5.工艺完成后，关闭电子枪、离子源（必须先归零灯丝电流，再关电源）等开关，打开自动充气开关，待精抽阀闭合后，将抽气手自动档切换至手动档（此处必需注意除维持泵、扩散泵、粗抽泵、开机这四个开关是按下去的外，其他开关都不可按下，以免操作失误造成扩散泵暴露大气！ ） ，按捕集器F3， 开启回温功能， 待低温捕集器温度回温到 30 摄氏度以上，打开充气阀

3、 ，待真空室门打开，关闭充气阀 。 （注： 自动抽气与自动充气开关严禁混淆）董6.以上循环，即为正常操作流程。腿二停机勘1.将真空室门吸合，抽至一定真空，关闭除停机开 关的所有开关。 （注：此停机开关，正常生产中严禁开启）瞧2.待真空镀膜机冷却一小时后，方可关闭电源，空压机， 冷却塔，激进泵。蒂螈 注：以上所有操作必须严格执行，未经允许不可更改，若应操作失误造成镀膜机受到损坏，影响等因素，操作员将承担相应责任。蒲警告 : 本机器有多处高压变压器，电压高达8KV， 为避免安全事故， 未经允许不可开启电柜 、 真空室下的屏蔽门。以下无正文仅供个人用于学习、研究；不得用于商业用途For person

4、al use only in study and research; not for commercial use.仅供个人用于学习、研究；不得用于商业用途Nur f u r den pers?nlichen f u r Studien, Forschung, zu kommerziellen Zwecken verwendet werden.Pour l ' etude et la recherche uniquementd des fins personnelles; pasd des fins commerciales.仅供个人用于学习、研究；不得用于商业用途tojibko AJiajiioAe ak pTOpwenojib symaisaidyHeHMia c ,n e a o b 团 hhha o ji >k h eiHcnojib3OBaTbCH b KOMMepnecKHx uejia