乐山职业技术学院硅材料检测技术课程标准

1、8乐山职业技术学院硅材料检测技术课程标准课程名称：硅材料检测技术适用专业：硅材料技术适用阶段：高职阶段适用类型：普专类一、前言（一）课程性质硅材料检测技术是硅材料技术专业第四学期开设的专业核心必修课程。 该课程前接实用物理技术、半导体硅材料基础，后接学生顶岗实习，强调理论 与技能并重， 结合硅材料检测实践， 侧重于培养学生对晶体硅材料的检测能力。（二）制定依据和思路硅材料检测技术 课程标准依据企业调研， 分析晶体硅生产企业中质检员 岗位的工作过程、 工作任务， 并结合硅材料技术专业人才培养方案和中级材料成 分检验工国家职业标准的要求进行制定。二、课程目标（一）总体目标通过课程学习，使学生掌握晶

2、体硅检测岗位所需的硅晶体电学性能、晶体 缺陷、晶体定向、杂质痕量分析等检测知识，具备对晶体硅产品的电学性能、晶 体缺陷、晶体定向、杂质痕量分析等进行检测的能力， 具备编写检验报告的能力， 培养学生的动手能力、解决问题的能力、创新能力，为学生顶岗实习夯实基础， 为晶体硅生产企业培养满足检测岗位需求的高素质劳动者和技术技能人才（二）知识目标1、了解硅材料检测工艺中的安全知识；2、了解国内外有关硅材料检测的先进技术、检测标准；X射线衍3、了解导电型号测试仪、电阻率仪、少子寿命仪、金相显微镜、射定向仪、红外光谱仪的维护保养方法；4、掌握硅材料检测中常用的专业术语；5、掌握冷热探笔法测试硅单晶导电型号的

3、原理和操作步骤；6、掌握四探针法测试硅单晶电阻率的原理和操作步骤；7、掌握高频光电导衰退法测试少子寿命的测试原理和操作步骤；8、掌握硅单晶电化学腐蚀机理及常用腐蚀剂；9、掌握金相显微镜的规范操作方法；10、掌握硅单晶晶体取向、晶面指数、晶向指数的表示方法；11、掌握光图定向法的基本原理及操作步骤；12、掌握 X 射线衍射定向仪测试晶体取向的原理和操作步骤；13、掌握红外吸收法测试硅单晶碳氧含量、 悬浮区熔法测试多晶硅中基硼和 基磷含量的原理、步骤及计算公式。14、掌握多晶硅生产原辅料及三氯氢硅中痕量杂质的检测原理和方法。（三）能力目标1、能解读硅材料的检测标准；2、能正确计算晶面指数、晶向指数

4、、晶体偏离度；3 、能用冷热探笔法完成对硅单晶导电型号的检测；4 、能用四探针法完成对硅单晶电阻率的检测；5 、能用高频光电导衰退法完成对硅单晶少子寿命的检测；6 、能用金相显微镜检测硅单晶的晶体缺陷；7 、能用 X 射线衍射定向仪完成对硅单晶晶体取向的检测；8 、能用红外吸收法完成对硅单晶碳、氧含量的检测；9、能用离子交换法进行纯水的制备和检测；11、能用气相色谱仪完成对三氯氢硅杂质的检测；12、能规范编写检验报告。（四）素质目标1、对新检测技术、新检测标准的自主学习能力；2、对硅材料有关检测知识进行归纳、理解和运用的能力；3、遵守企业规章制度，遵守职业道德，对工作主动热情；4、遵守检测操作

5、规程，认真负责，一丝不苟，实事求是，坚持原则；5、通过产品检测建立起产品质量控制意识、责任意识、安全意识、环保意识；6增强职业信念，提升职业素养。三、教学内容与要求（一）教学内容选取序号项目工作任务学时分配1直拉单晶硅棒 的检测1-1籽晶晶体定向的检测8321-2直拉单晶棒导电型号的检测41-3直拉单晶棒电阻率的检测41-4直拉单晶棒少子寿命的检测41-5直拉单晶棒晶体缺陷的检测81-6直拉单晶棒中氧、碳含量的检测4检验资料归档课外2多晶硅棒的检 测2-1工业硅中铁、铝含量的检测4242-2氯化氢、液氯中水分的检测42-3离子交换法制备的纯水检测42-4三氯氢硅中痕量杂质的检测82-5多晶硅中

6、基磷、基硼含量的检测4检验资料归档课外合计56学时（二）教学内容组织与安排项目知识目标能力目标素质目标教学时数理论实践合计直拉单晶硅棒的检测1、了解单晶硅检测项目和检测标准；2、掌握晶体取向的表 示方法；3、掌握晶面指数、晶 向指数、晶向偏离度 的计算方法；1、能检索单晶硅 检测标准；2、能对硅单晶导 电型号、电阻率、 少子寿命、晶体缺 陷、氧碳含量进行 检测；1、对单晶硅检测 新技术、新标准的 自主学习能力；2、对单晶硅检测 知识的归纳和运 用的能力；3、热爱检测工2012324、掌握光图定向、晶 向检测的原理和操作 步骤；5、掌握硅单晶导电型 号、电阻率、少子寿 命、碳氧含量的检测 原理和

7、测准条件；6、掌握晶体缺陷的分 类、特点；7、掌握化学腐蚀显示 晶体缺陷的方法和步 骤。3、能规范操作导 电型号仪、电阻率 仪、少子寿命仪、 金相显微镜、红外 光谱仪等设备；4、会计算晶面指 数、晶向指数、晶 向偏离度；5、能用X射线衍 射定向仪对籽晶 晶向进行检测。作;、4、遵守单晶硅检 测操作规程，规范 操作仪器，实事求 是，坚持原则；5、通过单晶硅产 品检测建立起产 品质量控制意识、 责任意识、安全意 识、环保意识。多晶硅棒的检测1、了解多晶硅生产的 原辅料和中间产品；2、掌握多晶硅生产中 原辅料的检测原理和 方法；3、掌握离子交换法制 备纯水的原理和检测 方法；4、掌握三氯氢硅中痕 量

8、杂质的检测原理的 方法；5、掌握悬浮区熔法检 测基硼、基磷的原理 和控制条件。1、能对多晶硅生 产中的工业硅等 原辅料进行检测；2、能用离子交换 法制备纯水；3、能用气相色谱 法对三氯氢硅中 痕量杂质磷进行 检测。1、对多晶硅检测 新技术、新标准的 自主学习能力；2、关注多晶硅行 业的发展、工艺改 进；3、遵守检测操作 规程，规范操作仪 器，实事求是，坚 持原则；4、通过多晶硅产 品检测建立起产 品质量控制意识、 责任意识、安全意 识、环保意识。20424合计401656四、实施建议（一）教材选用或编写硅材料检测技术课程教材首选符合晶体硅生产企业检测实践的校企合作开发教材，体现课程的应用性、职

9、业性。现采用教材为：1、 康伟超，王丽等主编，硅材料检测技术，化学工业出版社，2009.2、 张东主编，硅材料检测技术实训指导书，校本教材，2010.参考教材有阙端麟著的硅材料科学与技术，浙江大学出版社， 2000.（二）教学方法与手段项目教学方法教学资源教学场地教学建议直拉单晶硅 棒的检测任务驱动法实训操作电型号仪、电阻率 仪、少子寿命仪、 金相显微镜、红外 光谱仪、X射线衍 射定向仪教室 实训室强调检测过程 中的注意事项多晶硅棒的任务驱动法气相色谱仪、纯水教室气相色谱仪检检测实训操作制备系统实训室测条件的优化（三）考核与评价考核类型考核内容比例考核方式过程性考核直拉单晶硅棒的检 测60%学生评价+教师评价多晶硅棒的检测40%学生评价+教师评价期末理论考核直拉单晶硅棒的检 测60%教考分离理论（闭卷）考 试多晶硅棒的检测40%教考分离理论（闭卷）考 试（四）课程资源的开发与利用课业文件包括实训指导书、参考资料等。课程网站资源以院级精品课程硅材料检测技术网站为主，充分利用课程网站平台加强行业动态了解、 师