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1、全球领先的光伏一体化产品制造商和服务商浙江晶科能源有限公司 电池制造二部psg培训资料丑涛涛2010-11-22晶科能源有限公司 目录一、一、psgpsg单多晶硅片表面化学腐蚀处理单多晶硅片表面化学腐蚀处理二、二、5s5s及工艺卫生、安全及工艺卫生、安全三、交接班内容三、交接班内容目的 1.规范操作作业，指导操作员的操作方法，操作步骤及操作注意事项。 2.去磷硅玻璃主要反应方程式:sio2 + 6hf = h2sif6 + 2h2 3. a.磷硅玻璃的存在使得硅片在空气中表面容易受潮，导致电流的降低和功率的衰减 b.死层的存在大大增加了发射区电子的复合，会导致少子寿命的降低，进而降低了voc和

2、isc。原理 利用hno3和hf的混合液体对硅片表面进行腐蚀,去除边缘的n型硅,使得硅片的上下表面相互绝缘。范围 本指导书适用于硅片湿法刻蚀工序。 职责 1.所有操作人员都必须严格按照本档进行操作。 2.在操作过程中遇到问题应及时向工艺人员反应，工艺人员及时提供帮助。一、一、psgpsg单、多晶硅片表面化学腐蚀处理单、多晶硅片表面化学腐蚀处理什么是psg意为含有p、p2o5的二氧化硅。由于在扩散过程中干氧的通入，在硅片表面形成一层二氧化硅，在高温下pocl3与o2形成的p2o5后，部分p原子进入si取代部分晶格上的si原子形成n行层，部分则留在了sio2中形成psg。 psg制绒流程 作用内容

3、：一、操作前准备： 1.正确穿好工作服、鞋、帽，戴好口罩、手套（如图1）。 2.工具要求：手套、四探针测试仪、酒精、下料盒、碎片盒、电子称。 3.设备检查：a.槽体是否漏液。 b.检查纯水、压缩空气是否正常，各工艺参数是否是工艺所要求的参数。 c. 检查外围冷却水温不能高于18度，进出水压差不少于3kg。 d.检查排风是否正常。 e.di水流量每小时不低于1000l/h。 f.检查各滚轴，水刀、风刀是否正常。手套酒精下料盒碎片盒电子称四探针测试仪图1操作的工作流程 一、1.在配槽结束后，返回主页面，（如图2）图2然后点击”手动停止”然后”yes”（如图3）。 图32.手动停止后。点击自动启动按

4、钮，开始投入生产。3. 待生产结束后，进入主页面，点击相应的槽体，单击废液排放，然后点击启动（如图4）注意：3号槽和7号槽的浸泡去不会自动结束，需要在槽体排放结束后手动结束浸泡区排放。图4 4.待废液完全排放完之后，点击进入相应槽位，然后点击清洗。然后将停止点 击启动。用水枪彻底冲洗槽体10分钟，使槽体彻底清洗干净。 5.在确定槽体清洗干净后，废液已经排放干净。然后点击相应槽位（如图5） 检查配液参数，在确定配槽参数无误后，点击配槽，等待下班来交接班。图5二、上料 1.从扩散传递窗拿出扩散后的硅片，检查确认数量。将确认后的硅片取出。 2.用左手取适量硅片（一次拿片不得多于50片），右手轻轻捻开

5、，逐片放到上料位的滚轴上（如图6）。 注意轻拿轻放，做到放片时听不到声音。每道硅片之间距离应保持1cm（如图7）。图6图三、清洗流程 1.检查制绒槽温度（2.53.5度），超出工艺规定范围时立即停止生产，待温度恢复正常后再投入生产。 2.检查各槽风刀运行情况，确保硅片吹干（确认各槽出来硅片边缘无水珠，11#槽出来后正反面和边缘均没有水珠）。 3.检查水洗槽水刀运行情况，确认喷淋效果，严禁水刀水流量过大，避免窜槽问题的出现。 4.每批次称量硅片减薄量。（方阻上升2-6，减薄量控制在0.04-0.10g ） 5.检查绒面情况确保吹干硅片（硅片表面及后边缘无明显水珠） 四、下料 1.下料时，盯好机器

6、，使硅片完整无误的进入片盒。目测硅片表面是否出现异常。如有异常，立即通知当班工艺。 2.做完一批，正确填写好流程卡交下工序（不能在外面停留太长时间，超过半小时后返工）二、二、5s5s及工艺卫生、安全及工艺卫生、安全一、5s：分别有整理、整顿、清扫、清洁、素养。整理-1.将工作场所任何东西区分为有必要的与不必要的； 2.把必要的东西与不必要的东西明确地、严格地区分开来； 3.不必要的东西要尽快处理掉。 4. 正确的价值意识-使用价值，而不是原购买价值.整顿-1.对整理之后留在现场的必要的物品分门别类放置，排列整齐。 2.明确数量，有效标识。清扫-1.将工作场所清扫干净。 2.保持工作场所干净、亮

7、丽。 清洁-将上面的3s实施的做法制度化、规范化。素养-通过晨会等手段，提高员工文明礼貌水准，增强团队意识，养成按规定行事的良好工作习惯。二、工艺卫生 1.车间要保持清洁，地面不要有积水。 2.每班下班前要进行卫生打扫，用吸尘器清理掉机器上下料里面的碎片、杂物。 3.裸手不能接触硅片，手套接触硅片以外的任何东西如再接触硅片需换手套。 4.手动插片时，只能接触硅片侧边缘，手套要及时更换。 5.制绒机水洗槽要每班换液，制绒槽交接班前，进入纯水加热到位。等待下班交接班。 6.片蓝、片盒不得摆放在地面上,不戴手套不得接触片盒。 7.下班前用酒精无尘布擦拭滚轮及传送带。刻蚀中容易产生的问题: 1.刻蚀不

8、足：边缘漏电，并联电阻下降，严重可导致失效 2.过刻: 正面金属栅线与p型硅接触,造成短路 3.调节的主要手段:排风,药流量等.三、安全1.换液、手动加液时，一定要穿戴好防护用品。2.皮肤接触到化学用品时，立即用自来水冲洗干净，冲洗十五分钟后，然后就医。3. 机器出现故障，严禁私自操作，立即通知设备，等待有关人员处理。4.不得在车间内乱摆放酒精，以免发生不安全事故。5.酸槽换液必须穿戴防护用品，卡片清理碎片时必须戴防酸碱手套。用完的化学药瓶盖好瓶盖。机器出现故障，通知设备，不得私自操作。6.湿洗间由于危险品最多，因此安全是首要问题。作为设备维护人员，在工作期间首先就要在保证安全的情况下，然后提高工作效率，加快维护速度。而要达到这个要求，最重要的一点就是要了解清洗间所接触的化学危险品，对其特性，处理方法了然与胸。这样才能尽量避免不必要的人身伤害。 三、交接班内容三、交接班内容 1.5s列入交接班内容。接班人员有责任要求交班人员做好5s后方可接班。 2.接班时点清楚留存，不得弄虚作假，耍小聪明。 3.交接班时单、多晶必须按时配液。准时交接班，以便下班正常生产 4