特种气体钢瓶更换

1、9.7 钢瓶更换程序 （sop）（一 ）.目的：使厂务人员对 Special Gas （特殊气体）之气体钢瓶更换程序能够充份了 解，维护Specialty Gas系统正常供应，以达到提高供气质量与保障人员安 全。（二）.钢瓶更换程序：1. 进入气体房前之检查：a. 进入气体房前先从外面之监视器确认有无气体外漏情形及气体 房之含氧量。b. 检查钢瓶之状态是否有异常现象。2. 钢瓶换装前之检查：a. 进入气体房钢瓶换装至少应由两人协助完成。b. 确认气体室 ”维修中 ” 指示灯是否开启。c. 检查钢瓶之状态，确认钢瓶空瓶边 （左或右）。d. 检查欲更换之钢瓶上的空 /实瓶的指示标签。e. 关闭欲更

2、换之钢瓶盘面上的手动开关阀。f. 确认各purge N2气瓶之压力值：PH3之purge N2压力 500 PSIAsH3之 purge N2压力 500 PSIHCL之 purge N2压力 500 PSIDeTe之purge N2压力 1000PSISi2H6之 purge N2压力 1000 PSI3. 将欲更换之钢瓶上的控制器操作模式（位置参考附图二） ，操作至Purge Mode 程序。附图二：气瓶柜控制器示意图旋钮转至 Purge Mode画面如下:SELECT MODE OF OPERATION PRESS ENTER（选择操作方法按ENTER）PROCESS PUGER V M

3、ANUAL OFF-LINE（供应） 吹净v（手动）（离线）按 ENTERENTER SECURITY CODE（请输入一个安全密码-）xxxx* PURGE MODE *xxxx（*吹净模式*）输入1111WARNING -VERIFY PANEL FOR PURGING（警告-确认面盘准备吹净）RESET=CANCELENTER=CONTINUE（RESET=消）（ENTER=继续）按 ENTER* PURGE SELECTION *（吹净选择）仁CYLINDER CHANGE2=MAINTENANCE（仁钢瓶更换）（2=维修）CLOSE CYLINDER V ALVE（关闭钢瓶阀门）xx

4、xx PRESS ENTER WHEN COMPLETE xxxx（完成后按ENTER）请确实关掉钢瓶阀，否则下面的动作将会抽掉钢瓶内所有的气体，按ENTERINITLAL VENTING（开始排放）xxxxPLEASE WAITING xxxx（请等待）CYLINDER V ALVE LEAK TEST（钢瓶接头做负压测漏）xxxxPLEASE WAITING 600xxxx（请等待600）600表示还有600秒结束这项动作PRE-PURGE CYCLE PLEASE W AITING（前净吹请等待）xxxxCYCLES #25xxxx（25个周期）CHANGE OUT CYLINDEWRP

5、RE-PURGE （Yg|E 新实瓶W AITING* PRESS ENCYCLESEN#2O MPLETE*（完成后按ENTER） ） 前净吹请等待25个周期小心拆下旧钢瓶（请参照钢瓶更换程序第四步骤），并换上新钢瓶（请参照钢瓶更换程序第五步骤）后，按ENTER4.换下空钢瓶:a. 佩带携带式toxic gas monitor （毒气侦测器）及正压式空气呼吸 器。b. 确认左边或右边钢瓶要更换。c. 确认接头是向左边或右边右牙（无刻痕）接头向右侧锁紧，向左侧放松。左牙（有刻痕）接头向左侧锁紧，向右侧放松。d. 以手工具拆下接头并将钢瓶盖盖上锁紧。e. 除去钢瓶固定链条，再移去空钢瓶。5.实瓶

6、按装：a. 确认气瓶柜气体名称及钢瓶名称是否相符。b. 确认钢瓶接头型式与气瓶柜Pigtail接头型式是否相符。c. 小心地移动钢瓶到气瓶柜内（注意不要触碰到重量传感器及使用 中钢瓶）。d. 除去钢瓶外盖并将钢瓶接头对准Pigtail。e. 将钢瓶固定链固定。f. 除去钢瓶盖，清洁钢瓶出口及Pigtail （请穿戴手套）且以手确认衔接处有 Purge Gas（ N2/He）冲洗。g. 放进新垫片（使用清洁手套）。h. 以手锁紧接头 后用手工具锁紧接头。i. 卸下携带式toxic gas monitor （毒气侦测器）及正压式空气呼吸 器。CYINDER CONNECTION LEAK TEST

7、（钢瓶接头连接做测漏）PLEASE WAIT 600（请等待600）600表示还有600秒结束这项动作PREFORM HELIUM LEAK TEST（执行氦气测漏试验）xxxx PRESS ENTER WHEN COMPLETE xxxx（完成后按ENTER）缓慢的打开钢瓶阀门，再将关闭钢瓶阀门，后按ENTER继续* POST-PURGE CYCLE PLEASE W AIT *（通知净吹请等待）xxxxCYCLES #25xxxx（25个周期）* PRESSURE STABILIZING *（压力稳定）xxxxPLEASE WAIT 600xxxx（请等待600）600表示还有600秒结束

8、这项动作* HIGH PRESSURE LEAK TEST *（高压测漏）xxxxPLEASE WAIT 600xxxx（请等待600） ）600表示还有600秒结束这项动作 注意，高压测试的容许范围如下：20003000 Psia Range= 6 Psia Or More1000 Psia Range = 5 Psia Or More250 Psia Range = 3 Psia Or More* LEAK TEST PASSED *（测漏测试完成）xxxxPRESS ENDER CONTINUExxxx（请按ENTER继续）按 ENTERSLOWL Y OPEN , THEN CLOSE

9、 CYLINDER V ALVE（缓慢的打开钢瓶阀门，再将关闭钢瓶阀门）xxxx PRESS ENTER WHEN COMPLETE xxxx（请按ENTER继续）PROCESS PURGE CYCLEPLEASE WAIT （制程气体吹净循环）xxxxCYCLE # 5xxxx （循环第五次）SLOWL Y OPEN，THEN CLOSE CYLINDER V ALVE（缓慢的打开钢瓶阀门，再将关闭钢瓶阀门）xxxx PRESS ENTER WHEN COMPLETE xxxx（请按ENTER继续）缓慢的打开钢瓶阀门，再将关闭钢瓶阀门，后按ENTER继续PROCESS PURGE CYCLE

10、PLEASE WAIT （制程气体吹净循环）xxxxCYCLE # 4xxxx （循环第四次）SLOWL Y OPEN , THEN CLOSE CYLINDER V ALVE（缓慢的打开钢瓶阀门，再将关闭钢瓶阀门）xxxx PRESS ENTER WHEN COMPLETE xxxx（请按ENTER继续）缓慢的打开钢瓶阀门，再将关闭钢瓶阀门，后按ENTER继续PROCESS PURGE CYCLE PLEASE WAIT （制程气体吹净循环）xxxxCYCLE # 3xxxx （循环第三次）SLOWL Y OPEN，THEN CLOSE CYLINDER V ALVE（缓慢的打开钢瓶阀门，再

11、将关闭钢瓶阀门）xxxx PRESS ENTER WHEN COMPLETE xxxx（请按ENTER继续）请将转动旋钮开关至供应状态PROCESS PURGE CYCLEPLEASE WAIT （制程气体吹净循环）xxxxCYCLE # 2xxxx （循环第二次）SLOWL Y OPEN，THEN CLOSE CYLINDER V ALVE（缓慢的打开钢瓶阀门，再将关闭钢瓶阀门）xxxx PRESS ENTER WHEN COMPLETE xxxx（请按ENTER继续）缓慢的打开钢瓶阀门，再将关闭钢瓶阀门，后按ENTER继续PROCESS PURGE CYCLEPLEASE WAIT （制程

12、气体吹净循环）xxxxCYCLE # 1xxxx （循环第一次）SLOWL Y OPEN CYLINDER V ALVE（缓慢的打开钢瓶阀门）xxxx PRESS ENTER WHEN COMPLETE xxxx（请按ENTER继续）缓慢的打开钢瓶阀门，后按 ENTER继续* PURGE IS COMPLETE *（吹净完成）SWITCH TO PROCESS MODE（转动旋钮开关至供应状态）气体种类为 AsH3 , PH3, CI2时会下列画面* WEIGHT SELECTION *（重量选择）RESET=SKIPENTER=PROCEED（RESET=略过）（ENTER=继续进行）按 E

13、NTER* WEIGHT SELECTION *（重量选择）仁TARE WEIGHT2=PRODUCT WEIGHT （ 1=容器的重量）（2=产品的重量）按2ENTER PRODUCT WEIGHT（加载产品的重量）RESET=SKIPx.xxENTER=SAVE（RESET=略过）（ENTER=储存）/输入气体灌充的重量后，按 ENTERIS MANUAL ISOLATION V ALVE OPEN ？（开启手动隔离阀吗？）RESET=NOENTER=YES（RESET= 不）（ ENTER= 是）确实将手动隔离阀开启后，按ENTERAUTO SWITCHOVER ENABLED-SELECT MODE（自动转换功能）RESET=STAND - BYENTER=ON - LINE（RESET=随时备用）（ENTER=联线）按 RESETWARING -PROCESS WILL BE STANDING -BY（警告！生产过程决定随时备用）RESET=NO ARE