裂片机操作书明中文

1、2003 年 4 月 10 日改版裂片机操作书明书MOTEL: OBM-90T100株式会社 OPTO SYSTEM CO.,LTD本社 610-0313 京都府京田边市三山木野神： 008： 008目录0安全使用设备11设备构成21-1设备的构成21-2设备的主要部分31-3操作面板42设备运转42-1设备启动42-2各轴手动操作52-3手动裂片与自动运行7（1）加工件的准备与安装7（2）加工件平行的调出8（3）受台槽宽的确定与登录9（4）手动裂片10（5）自动运行12（6）有关裂片刀下降位置13（7）有关设定 1、设定 2133机械方面的调整143-1裂片刀的更换143-2摄像头的调整16

2、4设备操作结束165机能设定一览表175-1操作面板175-2控制画面的构成195-3各画面内容20（1）主画面表示20（2）参数变更方法21（3）SET1（设定 1）SET2（设定 2）22（4）Speed1（设定 1 速度设定） Speed2（设定 2 速度设定）23（5）JOG1（设定 1JOG设定） JOG2（设定 2JOG设定）24（6）ACCEL（1 设定 1 加减速设定） ACCEL（2 设定 2 加减速设定）25（7）SET（设定）26（8）文档操作276设备点检维护消耗品的更换280. 安全使用设备为安全使用设备，请预先了解以下的注意事项，并以此操作设备。请不要在用本设备加工

3、 Wafer 以外的产品。 在充分理解本设备的操作后、并对操作内容进行确认后再开始进行操作。 在操作过程严禁将手伸入裂片区内。本设备的电器配线电气线路组件等（电机驱动器等）禁止随意拨动、调 整。本设备应在 20C 左右的室内环境条件中使用 请勿将液体或带有腐蚀性的气体等置于本设备上。同时，室内湿度的增大 将对设备产生损害。切勿使设备发生重力冲击；不要将重物置于设备上面。 关闭设备电源时请按照使用说明书中记载的顺序正确关闭电源。不正确的 电源关闭方式将会造成软件损坏或资料丢失。1. 设备构成1-1 设备构成 本设备构成如下：指示灯塔下置摄 像头用 监视器下置摄像 头及传动 总成漏电保护 器脚轮裂

4、片主体 部制 PC 监控用机 视器控制用PC控 制用 PC 机键盘操作面板下置摄像 头光源SUPPORT1- 2 设备的主要部分 本页图片为设备主要部分，上图为裂片动作的主要部分；下图为下置摄像头 及传动总成部分。黄色箭头表示由电机驱动各轴的动作方向。裂片刀 Z 轴 电机击锤裂片刀平台 旋转方向平台 前后移动GAP下置摄像头1-3 操作面板操作面板的各个按键的说明汇总在中，请仔细阅读该表。5.机能设定一览表 的5-1 操作面板 绿：ON红：OFFORG各轴的动作各轴的动作电机按键方向按键紧急停止按键蜂鸣器操作面板2. 设备运转2- 1 设备启动向设备各电源部接入电源使设备呈可运转状态时，按照以

5、下顺序操作漏电保护器的把手推上按下操作面板上 ON 键当设备全体得到电源后，控制用 PC自动启动PC启动稍候控制用 PC机监视器上显示出控制软件的初期画面及“ DO ORIGIN RETUR！N”的提示。操作面板的蜂鸣器连续鸣响。操作面板的 ORG 按键灯闪烁。按下操作面板上 ORG键（ORG指示灯闪烁）设备的各驱动电机轴进行原点复归动作 在原点复归动作过程中严禁将手伸入设备内部原点复归动作中当 “RETURN TO ORIGI”N 表示示，原点复归动作过程中的 驱动轴的名称也同时表示。操作面板的蜂鸣器以一声长鸣音通知原点复归完成。操作面板上“ ORG”按键灯关闭控制用 PC监视器屏幕显示“

6、MANUALMODE原点复归完了后可以进行各轴的手动操作。若进行自动运行时，应预先进行各参数的设定，此后方可进行自动运行。2-2 各轴手动操作各轴 MODE 下手动操作时有效按键及机能如下各轴 MODE 下手动操作轴 MODE移动按键动作形式Hi/LOW的变更备注SUPPORTGAPCAMERA红圈内受台整 体 向 箭 头 方 向 移动（操作者反 方向） 红圈内受台整 体 向 箭 头 方 向 移动（操作者反 方向）红圈内受台的 GAP 向 箭头方 向移动。受台合闭）红圈内受台的 GAP 向 箭头方 向移动。受台打开）摄像头向设定的中心位置移动。摄像头向左方向移动摄像头向右方向移动闭合后按 键失

7、效不 会发生过 度闭合Hi 按 键 即 使不按下 仍快速移 动。轴 MODE移动按键动作形式Hi/LOW的变更备注RINGCUTTERcutter 上升位置Down Address或者单Cut Address键或者单键Cut Address 或 Down Address工作台向箭头 方向移动（操作 者反方向）工作台向箭头 方向移动（操作 者方向）工作台左旋转工作台右旋转Down Address 向待机位置下降Cut Address位置下降Down Address 待机位置上升向 CUTTER上升位置处上升裂片刀在 下降过程中 严禁将手伸 入裂片区 内。各设定的 ADDRESS 值不得与受 台发

8、生干 涉。在检查确认 设定值后方 可开始操作2-3 手动裂片及自动运转（1）工件的准备与安装在粘贴在偏平环上经过划片后的 Wafer 表面贴上保护膜后安装在工作台上。 在前工序贴片时，为便于较顺利地调出平行，建议如下图所示， Wafer 的平 面首先尽可能地与扁平环一边处于平行状态。两个面尽可能平行扁平环与 Wafer 的方向（例）粘贴在扁平环上的Wafer 表面覆盖保护膜使用软布等将气泡赶出将工作台移至面前，同时旋转工作台将扁平环固定把手 移至图中所示位置处按下操作面板上“ SETPOS”I 按键，工作台将移动到预先 设定的工件安装位置来。贴有保护膜面向下，扁平环的前端、右端分别靠紧各端 的

9、定位块。压住扁平环，左手拉出固定把手， 当扁平环的前端、右 端确实靠紧定位块后， 松回固定块把手。特别要注意定位块与 扁平环端面是否有间 隙。当间隙存在时裂 片过程中十字线与划 痕的平行性则很难保 持。定位块固定把手2）工件的平行调出在工作台上安装好工件后，以以下的顺序调出平行工作台移至中心位置CAMERA移至中心移动工作台及摄像头以使在摄像头的视野范围内可以看到工作台的旋转中心在5-3 个画面内容 （ 7）SET设定 中的 Y Center 与 CAM Center 为正确 设定之例。摄像头监视器的十字线与 Wafer 的划线取 得平行。差角由工作台旋转进行补正MODE Hi或 粗调整微调整

10、工作台前后微调整以 使监视器十字线附近 的划线与十字线重合MODE 或监视器视野围内左右 移动摄像头， 微调工作 台角度， 以使划线更为 平行于十字线。MODECamera 左右移动MODE 或左右移动摄像头，检 查划线与十字线的重 合状态。若取得平行 若未取得平行进入裂片 再次微调调整平行的微调 可利用 Hi 机 能，高速移动 Camera 进行 平行的确认。3）受台槽宽的确定与登录 受台槽宽的确定与登录按以下的顺序进行。该顺序仅以对芯片约倍的槽宽为 例进行说明。（通常在倍左右为适宜宽度）移动受台 （SUPPORT。） 当受台影 像到达距监视器显示白横线 1 各芯片位置时停止移动受台 （SU

11、PPORT监） 视器上 部的阴影移到红色箭头处为 止。移动监视器被横线下方的受台。 当槽宽约为芯片的倍时停止MODE 或在 Teaching Mode 状态下，使用Mode 作槽宽微调（参照注 1）位置移动受台 （GAP）监视器下部的 阴影，到红色括号的宽度左右MODE 或按下登录按键 GAP 位置则被登录。注：必须在 TEACH 状态，控制 PC的提示窗口上显示 GAP 名及 Add 时方能登录 。移动受台 （SUPPORT）监视器 上映出的槽宽调整到红色 括号的位置时停止。MODE 或按下登录按键support位置则被登录。Teach Mode 的解除 （参照注 2）Teach Mode

12、的解除 （参照注 2）再次使用 SUPPORT MODE 将监 视器所示的槽宽与横白线取中。Teach Mode 下，选择MODE，对槽宽微调（参照注 3）注 1）TEACH MODE 各轴的设定位置的 ADDRESS进行登录时的模式。按下此键后，各轴动作模式按键灯闪 烁，即可确定各个位置；所后按下 MEEMORY键后，则将设定的位置完成登录。注 2）闪烁中的 TEACH 键按下， TEACH模式册被取消。住 3） TEACH模式下，各轴均以低速运动，位置确定精度提高。4) 手动裂片 为防止裂片刀与受台发生干涉或裂片刀由上升位置向下降待机位置移动 时触及 Wafer，手动裂片之前应首先确认 D

13、OWN ADDRESS及 CUT ADDRESS 值设定后再进行。平行调出及受台槽宽确定、 登录后，首先按以下顺序确定 CUT ADDRES并S 手动试作裂片动作。前后移动调整工作台。 使 Wafer的划线与间监视器 十字线重合。裂片刀由上升位置向下降待机位置移动SHEET上面约为理想 位置裂片刀由下降待机位置向裂片下降位置移动接下页裂片刀下降待机位置裂片刀下降位置距裂片刀上升位置裂片刀下降至 Wafer裂开为止TEACH模式下( CUTTER MODE ) 至 Wafer 裂开位置点动 按键缓缓下降。由待机位置缓缓下降10接上页停止在 Wafer 裂开的位置处。 按下 键登录下降位置同时 T

14、EACH MODE解除裂片刀由下降待机位置上升或仅用移动到下一条划线处或仅用裂片刀向下降待机位置上升或仅用以下重复 标记 的动由下降待机位置作一次裂片动作裂片刀向下降待机位置上升移动到下一条划线处由下降待机位置作一次裂片动作115）自动运行自动运行是指当设定了起始、 结束位置， 按下 START键后设备开始自动运行 的状态。在选用自动运行模式之前请首先进行 （1）（4）的操作、同时设定 Y PITCH 值，在上述动作结束后，自动运行的设定与开始按照以下的顺序进行。自动运行开始位置的裂片线与十字线的位置重合十字线十字线裂片起始位置裂片起始位置 按下 START键后自动运行开始 按下 STRAT

15、P 键STOP P按键STOP按键暂停自动运行RESET键解除自动运行的设定自动运行停止位置与十字线的位置重合结束位置通常设定在最后 一线后的 2、 3 条线处。自动运行的操作自动运行暂停时（ START按 键闪烁时） RING MODE 下可以将裂片线与白横 线间的位差进行补正操作。同时，在 CAMERA MODE下可以左右移动 CAMERA对裂片状况进行确认。126）裂片刀的下降位置裂片刀的下降位置的最大值为 CUT ADDRESS+CUT DEP。TH（5-3 各画面详细的（3）SET1（设定 1）与SET2（设定 2）的CUT DEPTH项） 使用 CUT DEPTH时参照下图的关系请

16、注意使用。上升位置绿色：下降待机位置红色下降位置 +CUT DEPTH裂片刀的位置蓝色：下降位置7）设定 1设定 2裂片由以下 3种 MODE。黄字表示MODE内容绿字表示1 ONLY设定 1 条件下，横、竖裂片线均为裂片条件内必须以绿字 1 表示2 ONLY设定 2 条件下，横、竖裂片线均为裂片条件内必须以绿字 2 表示1 AND 2一侧为设定 1 条件，另一侧为设地点那个 2 条件， 两个条件连续进行裂片裂片时分别显示设定条件 1设定条件 2黄字 裂片条件方向绿字表示含义 使用条件进行各切换时操作以下按键1 ONLY2ONLY 1AND2 F7 1 OR 2提示表示的1与2切换：STOP按

17、键 +90o按键（表示切换的同时工作台旋转 90o1AND2时STARTP ，STOP P应分别在设定 1，设定 2 时设定，其后可 进行自动运行133. 机械调整3-1裂片刀的更换裂片刀更换时请按照以下顺序进行。 进行更换时必须关闭设备的总电源4颗螺丝松开 a 上面用于固定的 4 颗 螺丝。1）左旋松开止动 螺丝2）松开此螺母 2mm 的间隙A 与b 进行交换 。裂片刀的左右上部的止动部的螺母松开， 旋转螺丝， 使其与裂片 刀之间形成一定的间隙。14用手转动裂片刀的电机轴， 裂片刀慢慢下降当接触到受台、 电机轴不能转动的程度时， 将 4 颗固定螺丝轻轻拧紧后，旋拧止动螺丝，使螺丝的端部顶住裂

18、片刀。（注意：止动螺丝不要过渡拧紧）切实固定紧固此螺丝时注 意止动螺丝不要 旋转。向上托住此处 （ 左右同样 ）旋转电机上轴使裂片刀上升， 与止动螺丝的下端轻轻接触。 用手托住裂片刀的两 端，随后拧紧用于固定裂片刀的 4 颗螺丝。 裂片刀的刀口部分较为锐利，因此向上托起裂片刀时一定托在两端 。3 Wax Press Machine 1set 945,裂片刀安装后是否与受台平行的检查： 手动旋转裂片刀电机， 裂片刀与受台将将 接触时用厚薄规检查其间隙。裂片刀更换后 :1.开启电源，进入 Oringin 原点复归动作。2. 应充分注意裂片刀的待机位置及裂片位置，及时进行设定修改。153- 2 摄像

19、头的调整摄像头 Y 轴的调整：受台上不要放置任何障碍物的状态下， 裂片刀降到下降 位置，可在监视器画面上看到裂片刀的刃口部的影像，调整 Y 轴使刃口与 十字线重合。摄像头 Y轴的调整：将Wafer置于工作台上，调整 Z轴使监视器上的焦距重 合。摄像头 Z 轴止动螺丝 摄像头 Z 轴微调用止动螺丝摄像头 Y 轴止动螺丝 摄像头 Y 轴微调用止动螺丝摄像头 Z 轴微调 。 调整摄像头焦距与 Wafer 高度 重合时使用。摄像头 Y 轴微调。调整摄像头中心的 Y 方向位置与刃口 重合时使用。控制软件结束按下键盘 F10 提示 Y不结束软件时按 N操作面板的 OFF键按下确认 PC监视器表示为 DOS

20、MODE。漏电保护器扳手扳下漏电保护器把手前面板165. 机能设定一览表4. 设备操作结束按键名称机能备注ON电力的接入OFF电力的关闭START自动运转开始闪烁时运转暂停 闪烁时按下后运转继续STOP自动运转停止RESET解除 Error 表示自动运行暂停时 （START按键闪烁时 ） 按下此键可解除自动运转模式。ORG各轴的原点复归1or 2Wafer 的 Breaking 设定的选择 / 切换与快捷键 F7 同机能CENTERTable 前后轴向中心位置移动向设定的中心位置移动MEMORYTEACH MODE时各轴 Add 的记忆TEACH时记忆的数据自动存入裂片条件的文档中HAMMER

21、HAMMER 动作每按一次动作一下。 击槌力度调节钮可调节击槌力度SETPOSI向工作台前后轴的工件交换位置的移动向设定的位置移动90oTable 旋转 90o每按一次该键左右交替旋转。 按设定的脉冲数旋转。按 住 STOP 键 同 时 按 此 键 ， 工 件 的 Breaking 条件（设定 1 侧 or 设定 2 侧） 的设定也可以改变。TEACHTEACH MODE按键键灯闪烁时： TEACH MODE 键灯熄灭时： TEACH MODE解除 （可进行自动运行 / 手动运运行）INDEXTable 前后方向的 PICTH 送进模式只有 RING灯亮时有效。 按一次键则按设定的 PICTH

22、值移动一次SUPPORT受台 （SUPPORT前） 后移动模式5-1 操作面板紧急停止键击槌力度调节 蜂鸣器17按键名称机能备注GAP槽宽移动的动作模式CAMERACAMERA左右移动的模式RINGTable 前后及旋转的动作模式CUTTERCUTTER上下移动的动作模式各轴动作模式时的移动方向Hi各轴 （注：参照备注栏 ）的高速 / 低速移 动的切换CUTTER上下动作没有高 / 低速的区别 亮灯时：高速 熄灯时：低速START P自动运转开始位置的登录登录内容： Table 前后轴开始位置Camera 左右轴开始位置STOP P自动运转结束位置的登录登录内容： Table 前后轴结束位置C

23、amera 左右轴结束位置紧急 停止键各轴动作停止按键向右旋转解除紧急停止状态 及时解除后但各轴不会动作。紧急停止解除后恢复原画面时， 按提示 按下 RESET键，并必须作原点复归。击槌强度HAMMER 捶击强度的调整蜂鸣器提示音响185-2 控制画面的构成控制软件的基本内容如下：当前设定 计数窗口 提 示 窗设定 1设定 2当前各 轴 Add速度设定选择设定 1速度设定设定设定 1 JOG裂片使用条件设定 1，2 切换控制软件结束设定文档操作选择文档读出 文档保存 文档删除 退出195-3 个画面内容1）主画面表示当前设定计数窗提示窗提示窗当前各轴 Add当前各 轴 Add各快捷键裂片使用条

24、件裂片使 用条件各快捷表示部内容详细备注当前设定表示当前裂片方向的设定值F1：SET1（或 F3：SET2）设定内容的 表示计数窗上端数字：设定的最大裂片线数 下端数字：自动运行中当前裂片线数提示窗Error 提示表示 / 当前动作状态的表示各轴当前 Add表示电机轴的当前 AddY Add： TableY轴（ 单位：脉冲 =um） Add： TableY轴（ 单位：脉冲 ）裂片使用条件表示裂片使用的条件快捷键表示文档与各种设定向操作画面移动按键F1：SET1=切换至设定 1 画面F2：未被使用F3：SET2=切换至设定 2 画面F4：未被使用F5：SPEED=切换至速度设定画面。 不能使用快

25、捷键。F6：FILE=进入文档操作选择画面。F7：1OR2=设定 1，2 的切换F8：SET=进入设定画面F9：未被使用F10：END=控制软件结束20键盘快捷键及各键功能SET1=切换至设定 1 画面 未被使用SET2=切换至设定 2 画面 未被使用SPEED=切换至速度设定画面。不能使用快捷键。 FILE=进入文档操作选择画面。F1F2F3F4F5F6F7：1OR2=设定 1， 2 的切换F8： SET=进入设定画面 F9：未被使用F10： END=控制软件结束2）参数变更方法参数的变更由操作键盘上输入数值执行。此后说明的各设定画面中，变更项目由键盘上的箭标按键进行选择、 Enter 键确

26、定，随后即可在选择的项目中输入变更数据。 数值输入后再次按 Enterj 键确认，数值即被变更。若取消选择了变更项目并按下了 Enter 键，同时亦输入数据的操作时，请不 要继续按下 Enter 键，改按 Esc键即可解除上述操作。各设定画面由其所对应的快捷键按下后表示；返回主画面时按Esc键。213）SET1（设定 1）与 SET2（设定 2）下图为设定 1 的画面表示。设定 1 与设定 2 的设定项目、内容相同项目内容输入范围单位备注CUT TIMES自动运装时最大裂片线数1999次DOWN ADDRESS上刃的下降待机位置0mCUT ADDRESS上刃的下降位置0限位开关mF8+ SET

27、确定限位HAMMER TIMES自动运转时击槌击打数099次/CutCUT PER LINE对 1LINE上刃的下降次数099Cut/LineY PITCHTABLE前后方向的 Pitch 送进量09999mSupport Address自动运转时 Supptort 的位置099999脉冲不要数值直接输入GAP ADDRES自动运行时 GAP的位置09999脉冲不要数值直接输入TIMER （UP）自动运转时上刃在待机位置的停止时间0999msecTIMER（DOWN）自动运转时上刃在下降位置的停止时间0999msecCut depth 包含YSTART POSI设定的自动运转开始时工作台的位置

28、。099999脉冲不要数值直接输入YSTOP POSI设定的自动运转停止时工作台的位置。099999脉冲不要数值直接输入CAM START POSI设定的自动运转开始时摄像头位置099999脉冲不要数值直接输入CAM STOP POSI设定的自动运转停止时摄像头位置099999脉冲不要数值直接输入 ADDRESS工作台旋转电机的当前位置099999脉冲不要数值直接输入CTUT DEPTH上刃由下降位置开始的送进量099m由 CUT ADD的下降量224）SPEED（1 设定 1 速度设定）与 SPEED（2 设定 2 速度设定）下图所示为设定 1的界面，设定 1与设定 2的表示界面、设定内容相

29、同项目内容输入范围单位备注CUT HIGH上刃上下移动的高度199999脉冲 /sec单位时间内向电机发出的 脉冲值。如果变更数值时切勿输入 过大的数值，输入值应在 设 备 出厂 时的 设定 值 附 近，但设定后必须注意设 备的动作。Y HIGH工作台前后高速移动199999 HIGH工作台高速旋转199999CAM HIGHCAMERA左右高速移动199999CUT LOW工作台前后移动的初速度110000Y LOW工作台前后移动的初速度110000 LOW工作台旋转的初速度110000CAM LOWCAMERA左右移动初速度110000235）JOG 1（设定 1JOG设定）与 JOG2（

30、设定 2JOG设定）下图所示为设定 1 的界面，设定 1与设定 2的表示界面、设定内容相同项目内容输入范围单位备注CUT JOG上刃上下移动的手动低速移动时的速度设 定199发给电机的下一 信号为止的待机 间隔。（没有单位 标度） 数值越小 JOG的 速度越慢。Y JOG工作台前后移动的手动低速移动时的设定199 JOG工作台旋转移动的手动低速移动时的设定199CAM JOGCamera 左右移动时的手动移动速度的设 定199SUPPORT JOG首台的手动低速移动速度的设定199GAP JOGGAP的手动低速移动的速度设定199246）ACCEL （1设定1加减速设定）与 ACCEL（2设定 2加减速设定）下图所示为设定 1 的界面，设定 1 与设定 2 的表示界面、设定内容相同项目内容输入范围单位备注CUT SLOWUP上刃上下移动的加速设定值199-数值越小加减速度越大Y SLOWUP工作台前后移动的加速设定值 SLOWUP工作台旋转移动的加速设定值CAM SLOWUPCAMERA左右移动的加速设定值CUT SLOWDW上刃上下移动的减速设定值Y SLOWDW工作台前后移动的减速设定值 SLOWDW工作台旋转移动的减速设定值CAM SLOWDWCAMERA左右移的加减速设定值257）SET（设定）设定 1、2 为共通的设定项目内容输入范围