ZZS1100-8型箱式真空镀膜机操作手册

1、箱式真空镀膜机 A01操作手册 操作规程 开机前检查水、电、气。依次接通总水源、总气源、总电源。 1水：水塔储水充足，水压约 0.20.25MPa水流约2030 L/min 水温W 20C。 2 电：总功率约 50KW, 220V/380V , 50HZ。 3气：气压0.6Mpa。 二、开机。打开总电源开关（总电源信号灯亮）一-真空自动T开机。 扩散泵温度必须大于250C（约预热1小时）。打开高压电源及高压 开关，氧气阀打开，氧气总压力必须大于 2MPa氧气输出压力控制 阀必须小于0.5MPa （般在0.2MPa左右）。打开监控系统电源，打 开坩埚电源。 三、蒸发室清洁。按下耳晖按钮打开室门。

2、用吸尘器吸掉室体内部 表面灰尘，活动挡板和坩埚清洁，电子枪清洁及保养，检查晶振片更 换。 四、材料添加。首先检查坩埚号是否与制程相对应；坩埚是否转换 到位。不同材料有不同的添加方法，某些材料首次添加需按层次添加 （每添加一层都要进行融药），材料每次不可添加的过多，材料的添 加与消耗成正比。 五、蒸镀前。以上步骤完成后卡伞方可上架，关闭蒸发室门（检查 六、 制程）一-真空 加温烘烤。当真空度达到低真空（低真空信号灯亮，真空度为 3.0E-0）方可开烘烤，同时真空镀必须高于 10-2Pa。按下按钮烘烤1 烘烤2-烘烤3 工转（工转的电压为1V，烘烤温度达到 设定值320 C时.必须稳定10分钟。）

3、 七、 融药。真空度达到高真空（高真空信号灯亮，真空度为5.0E-3。） 坩埚转换到手动打下控制开关自动 手动） 电子枪转换到手动打下 控制开关EXT INT。打开外控选择按钮 ACt FIL。融料时需注 意事项: 1、 挡板是否在关闭状态） 1、 电子枪功率逐渐上升，要高于镀膜时的设定值） 2、 高功率时电子枪斑点不可在坩埚边上融料） 3、 高功率时电子枪斑点不可过小，融好后需在坩埚中心位置停留10 秒） 融完后按下外控按钮 电子枪转换到自动INT EXT同时EMN 八、 1、 2、 3、 4、 5、 SCAT POS专换到自动。坩埚转换到自动手动 镀前准备） 温度达到设定值后必须稳定10分

4、钟 真空度必须小于2.0E-3 ） 烘烤加温与抽真空共计时间必须达到 30分钟） 制程选择）与被蒸镀物相对应） 工转电压调到2.0V 自动） 6、电子枪打开外控选择按钮 ACC- FIL。 九、蒸镀（满足以上条件及检查后方可进行以下步骤）。按下监控按 钮 STO7 ReSEt start 蒸镀时须注意坩埚的转换是否与制程相对应， 是否转换到为，电子枪 的功率与斑点是否有浮动，及斑点位置是否在坩埚中心位置。 同时要 观察蒸镀时的速率、电流大小；氧气的流量。 十、蒸镀完成。蒸镀完成后先关电子枪外控按钮 OFF工转电流调 到0.5V进行2分钟烘烤，关烘烤1 烘烤3。工转调到 0.5V。烘烤温度必须低

5、于280C方可开门，按取件进行泄气开室门, 然后取出卡伞进行清洁、添加材料进行下次蒸镀，从打开室门到关门 时间为5分钟左右。 关机。先清洁蒸镀室，关室门抽真空（手动关门），蒸镀室在 停机状态下保持低真空状态。按真空（低阀信号灯亮） 自动冷泵 （扩散泵降温约1.5小时）。关坩埚电源、监控系统、关电子枪高压 电源、氧气阀。当真空系统自动关闭后关掉总电源、 总水源、总气源。 日期：20114 1出师表 两汉：诸葛亮 先帝创业未半而中道崩殂，今天下三分，益州疲弊，此诚危急存亡之秋也。然侍卫之臣 不懈于内，忠志之士忘身于外者，盖追先帝之殊遇，欲报之于陛下也。诚宜开张圣听，以光 先帝遗德，恢弘志士之气，不

6、宜妄自菲薄，引喻失义，以塞忠谏之路也。 宫中府中，俱为一体；陟罚臧否，不宜异同。若有作奸犯科及为忠善者，宜付有司论其 刑赏，以昭陛下平明之理；不宜偏私，使内外异法也。 侍中、侍郎郭攸之、费祎、董允等，此皆良实，志虑忠纯，是以先帝简拔以遗陛下：愚 以为宫中之事，事无大小，悉以咨之，然后施行，必能裨补阙漏，有所广益。 能”，是以众议举宠为督: 将军向宠，性行淑均，晓畅军事，试用于昔日，先帝称之曰 愚以为营中之事，悉以咨之，必能使行阵和睦，优劣得所。 亲贤臣，远小人，此先汉所以兴隆也； 亲小人，远贤臣，此后汉所以倾颓也。 先帝在时, 每与臣论此事，未尝不叹息痛恨于桓、 灵也。侍中、尚书、长史、参军，此悉贞良死节之臣, 愿陛下亲之、信之，则汉室之隆，可计日而待也 臣本布衣，躬耕于南阳，苟全性命于乱世，不求闻达于诸侯。先帝不以臣卑鄙，猥自枉 屈，三顾臣于草庐之中，咨臣以当世之事，由是感激，遂许先帝以驱驰。后值倾覆，受任于 败军之际，奉命于危难之间，尔来二十有一年矣。 先帝知臣谨慎，故临崩寄臣以大事也。受命以来，夙夜忧叹，恐托付不效，以伤先帝之 明；故五月渡泸，深入不毛。今南方已定，兵甲已足，当奖率三军，北定中原，庶竭驽钝, 攘除奸凶，兴复汉室，还于旧都。此臣所以报先帝而忠陛下之职分也。至于斟酌损益，进尽 忠言，则攸之、祎、允之