半导体厂消防设施安全基准

1、 半导体厂消防设施安全基准 半导体厂消防设施安全基准( 建议草案 ) 适用范围 引用标准及说明 目的：本基准旨在提供半导体制造厂之制程区及支持区消防设施之安全 规范。危害物 (HPM)的储存、运送和使用应以本规范为依归。相关的消防安全设 施和系统必须随时维持在可使用的状态。 本基准草案主要是根据UFCArticle51 的内容，并参酌我国消防法、 NFPA 318、 FM Loss Prevention Data、及 SEMI S-2 0Doc. 2697 等资料编写而成。 名词解释： 制程区 (Fabrication area) 危害物 (Hazardous Production Mater

2、ial；HPM) 危害物易燃性液体 (HPM Flammable Liquid) 危害物储存场所 (HPM Storage Room) 紧急紧报系统 (Emergency Alarm System) 防灾中心 (Emergency Control Station) 服务走道 (Service Corridor) 制程设备 (Workstation) 闪点 (Flash point) 沸点 (Boiling point) 1. 半导体厂火灾之预防我国消防法 1.1 通则 : 尽量减少火源与可燃物接触的机会。 1.2 火源管制 : 1.2.1 一般火气：严禁吸烟，使用火柴、打火机 1.2.2作业用

3、热源：不使用直接燃烧气体进行加热干燥，应采用热媒间 接加热方式。 1.2.3 临时动火：应在责任者之充分监督下才准使用。 1.2.4电气设备：密闭室内使用防爆型以外之电气设备时，不得使用会 发生可燃性蒸气之溶剂。 若无法避免， 即使在电源切断时， 应须进行充分换气作 业。 1.2.5 静电：讲求抑制静电发生及防止带电之方法。 1.3 可燃物之管制： 1.3.1 周围之不燃化 : 钢瓶、容器储存场所，应采耐火构造，并与其它建 筑物隔离，并尽可能避免可燃物之进入。排气系统之风管，应使用不燃材料；但 一般所称难燃材料（耐燃三级） ，在长时间火焰作用下仍会引燃，故排气风管不 得使用该种材质。排放管内之

4、沉积物，应定期检查排放及清洗。 耐燃三级系由中国国家标准CNS6532所规范者。 1.3.2 气体漏泄之防止 : 由于不可能完全不使气体漏泄，故重点在于万一 漏泄发生时，如何防止起火或产生滞留爆炸。 1.3.3 可燃性液体泄漏防止： A. 使用密闭容器 B. 配管之使用：可燃性液体之处理场所应设置于与贮存处所或作业场所有别之安全场所，再使用配管将制程所需必要的最小量送入制程区。 C.泄漏之局限化：作业场所之楼地板应为液体不会浸透之构造，并有适 度之坡度或排液沟。处理槽应设于安全位置。 1.3.4爆炸性混合气体形成之防止( 换气 ) ：引火点 ( 闪点 ) 在周围最高温 度以上之可燃性液体， 可

5、采自然换气方式； 引火点在环境气温以下者， 须采强制 换气方式。可燃性液体蒸气通常较空气重，其换气装置之排气口应设于靠近蒸气 发生源之低处， 而进气口则以设于高处为原则。换气装置应使用防爆机型。危险 装置附近应设于气体侦测器俾能随时检测。 2. 半导体厂之消防设施 2.1 制程区之火灾侦测： 2.1.1洁净室之探测器应选用能适应平时洁净环境能感应其变化程度设 定之侦烟器，并应安装在在回风管之吸气口处。火灾侦测系统应采极早期预警型 式。 NFPA 318和 FM LPD 7-7 之规范。 2.1.2氢(H2) 之燃烧火焰几乎完全不会释放出红外线，因此其储存区域 或使用区必须使用紫外线火焰探测器。

6、 2.1.3 排放管路之火灾探测系统：应采感知速度较快之火焰探测器。 2.2自动洒水系统：洒水设备系统必须符合相关建筑法规和各类场所 消防安全设备设置标准之要求。警报讯号必须送至防灾中心。 可参见第 43 条至第 60 条之规定。 * 海龙灭火设备可防止制程设备之二次损害，但有环保 ( 破坏臭氧层 ) 问 题，可采用海龙替代品 ( 须经内政部消防技术委员会审议通过者 ) 防护之。 例如 FM-200 (LPD 7-7 ，17-12) 2.3火警警报系统：凡在高度危险工作场所必须全面性的备有手动火警 警报系统。其激活必须能在原地发出警报声，同时相关讯号须传送至防灾中心。 该系统之设计及安装应符合

7、各类场所消防安全设备设置标准之要求。 可参见各类场所消防安全设备设置标准第 129 条至第 132 条之规定。 2.4防排烟设备：火灾时，空调机之运转应予停止。必要处所，应设置 排烟设备。或参考防火防烟区划安全基准6.7 之规定。 2.5通报设备：除前述洁净室内极早期警报系统或风管内适用之火警探 测系统外，其它厂务设施空间适用之火警通报设备，与一般防护空间相同。 2.6 电气防灾设备： 2.6.1 通则：应特别注意停电时所造成的不当灾害。 2.6.2 感电部分： A. 电气设备之接地。 B. 应设有感电防止用漏电遮断器等控制设备。 C.高电压、大电力之半导体制程设备，应依下列规定： 明白标示。

8、 作业中不致接触或接近之安全棚架、绝缘覆体等。 设接地棒。 应有微控开关门扇不动作之防止。 应有作业前之自动检查并予纪录。 2.6.3停电部分 :灭火设备、照明、引导灯、特定制程设备、有害气体 排气设备、制程装置用冷却水设备等应设置不断电设备（UPS）、蓄电池、紧急发 电机。 2.7 避难救助设备 : 半导体厂房多属台湾消防法规之无开口楼层，故应有 建筑技术规则第八十九条至九十九条 A. 避难器具之设置 B. 出口标示灯、避难指示灯 C.紧急进口 D.紧急照明设备 2.8安全保护器具：使用毒性气体区域，应设有适应各毒性气体特性之 呼吸用保护器具，其种类如下： 过滤式防尘罩 防毒罩 呼吸用保护器

9、具 送气罩hose-mask 供给式airline mask 自给式呼吸器空气呼吸器 O2呼吸器 3. 制程区 3.1 制程区必须符合建筑法规或防火防烟区划安全基准之相关规定。 见前述之防火防烟区划安全基准 3.2 位置：制程区之位置必须位于一楼或以上之楼层。 3.3危害物最高储存量：单一制程区内危害物的平均密度不得超过下表 （表一）所规定之上限。 * 若任何单一制程区之总量未超过表二所规定之总量上限， 则不受上述 3.3 之限制。 表一单一制程区中危害物平均密度上限1.2 状态 单位 易燃性 氧化剂 腐蚀性 固态 液态 气态 Kg/m2 L/m2 m3/m2 0.005 1.6333 2 0

10、.15 1.22 0.381 0.015 3.26 0.914 上标说明： 1 该平均密度不适用于管路中之危害物。 2 易燃性，有毒性气体的最大容许总量不得超过表二之上限。 3 易燃性和可燃性液体的平均密度不得超过下述之量。 Class (I-A)+(I-B)+(I-C)（混合之易燃性液体） =1.020 其中 Class 1-A不得超过 =0.102 Class II =0.41 Class III-A =0.82 说明 : Class I-A液体：闪点 (23(C ，沸点 (38(C Class I-B液体：闪点 (23(C ，沸点 (38(C Class I-C液体：闪点 (23(C ，

11、沸点 (38(C Class II液体： 38(C( 闪点 (60(C Class IIIA液体： 60(C( 闪点 (94(C Class III-B液体：闪点 (94(C 上述公制数字系相关英制数字转换而来，原英制数字可见下页 表二单一制程区中危害物最大容许总量 物质 最大容许总量 易燃性液体 341 L Class I-A 681 L Class I-B 1022 L Class I-C 1363 L 混合之易燃性液体 可燃性液体 Class II 1363 L Class III-A 2839 L 易燃性气体 255 m3 【常压常温 (21 ) 下】 液化易燃性气体 681 L 易燃

12、性固体 680 Kg 腐蚀性液体 625 L 氧化性物质气体 510 m3 氧化性物质液体 568 L 氧化性物质固体 680 Kg 过氧化性 13.6 Kg 高有毒性物质及有毒性或高有毒性气体 包括在上述易燃性气体之总量，而不论其可燃界限范围。 上述公制数字系相关英制数字转换而来，原英制数字可见下页 3.4 通风要求： 3.4.1通则：每平方公尺楼地板面积至少有每分钟0.3 立方公尺之通风 量。 原数字 1ft3/min./ft2楼地板面积 3.4.2分离系统：在建筑物内任何制程区的回风系统不得与其它系统连 结。 3.4.3通风控制：空气供应或循环系统，或两者，都应在制程区外设有 手动控制开

13、关。消防主管机关得要求设立额外的手动开关位置。 3.5 特别要求： 3.5.1溢流控制：若危害物之气体供应高压管线破裂，必有一失效安 全 (Fail-Safe) 系统来关闭气体供应。若供应管线是源起于危害物储存场所，则溢流控制阀必须设在此场所内； 若管线源起于建筑物外， 则溢流控制阀则应设置于建筑物外，亦尽可能接近于供应源处。 3.5.2管线设备：管线设备必符合相关要求标准。除非管线是置放在密 闭管道空间，否则具有3 或 4 人体健康危害等级（ health hazard ranking）之 危害物的供应管线， 其所有接头处必须焊接。 和钢制管线不能兼容的物质，或许 可用非金属管线，但其接头仍

14、须经过验证。 3.5.3气体监测系统：在危害物气体之使用或分装的储存区域或场所， 不论其否对人体有害， 都必须设有持续性之气体监测系统。在运送过程中， 若易 燃性气体或蒸汽量有超过其爆炸下限百分二十之可能性时，必须有持续性之气体 监测系统。这些监测系统须和防灾中心联机。 4. 制程区内之制程设备 4.1制程区内之制程设备之材质必须和其使用之化学品原料兼容。制程 设备之危害物气体和可燃性液体流经之处必须为不燃材料。若为金属，则厚度不 得小于 1.12 公厘 (18 号钢 ) 。另外危险气体和液体储槽必具有经认证之抗震性。 原数字 0.044-inch (18gage) 4.2危害物最大容许总量：

15、如表三所示。 表三：制程设备中危害物最大容许总量 材料 状态 最大容许总量 易燃性及有毒性 气体 液体 固体 3 瓶 57 L 2.3 Kg 腐蚀性 气体 液体 固体 3 瓶 95 L 9 Kg 氧化性 气体 液体 固体 3 瓶 45 L 9 Kg 上述公制数字系相关英制数字转换而来，原英制数字可见下页 4.3 排气通风 4.3.1 设计基准：应能完全排除制程过程中产生的熏气(Fume)和蒸汽。 4.3.2 管道系统 A. 材质：管道材质必须符合机械法规。 B. 反应物：若排放之物质会在管道内造成火灾，爆炸或危险之化学反应， 则应有两种以上之排放选择，且不能和主排放系统结合。 C.穿墙：若排放

16、系统必须穿墙至制程区外，其应置于具有防火时效之管 道间内。排气管道不得穿越制程区内区域之区划。不得在排气管道中设有防火闸 门（板）。 D.消防设施：在下列情形，排放管道内部必须设有洒水装置。 (i) 管道之最大管径大于或等于 25 公分。原数字 10-inch (ii) 管道系在建筑物内。 (iii) 该管道系用来运送在可燃范围内之气体或蒸汽。 若管道系可燃非金属材质所构成，且其最大管径大于或等于 25 公分，则须加撒水装置。 原数字 10-inch * 若管道已明定不须有撒水装置或其装设在天花板下且其长度未超过 3.7 公尺，则不受上述限制。 原数字 12 ft 4.3.3紧急电源及控制：排

17、气系统必须具有紧急电源。其设计及设置必 须符合电力法规。 该紧急电源必须能维持至少一半正常风扇运转速度，以保持环 境的安全。 4.4消防设施：撒水设备之有效范围须能覆盖制程设备之水平平面且不 得受到任何阻碍。 若制程设备系由可燃材质所构成，则撒水设施必须设置在排放 装置与装备接壤处， 或者不得超过该接壤处1.2 公尺以上之距离。 洒水头及接到 管道之管线必要时，应有防腐蚀之保护层。该洒水装置应易于作定期性的检查。 撒水系统设计必须考虑到喷洒型式及其对设备的影响。 原数字 4 ft * 若使用下方式，则不受上述条件限制 1. 经审核认可之其它替代灭火系统，其激活可使相关的制程设备停止运 作。 2

18、. 若制程设备操作温度超过500，且附有自动停止危害物供应装置者。 3. 若易燃性气体之钢瓶柜系在制程设备内， 且其排气管线管径在 25 公分 以下者。 原数字 10-inch 4.5 电器设备：若电器设备距离使用易燃性气体或液体之制程设备在1.5 公尺之内，应依电器法规中Class I , Division 2之相关规定决定其位置。亦 应遵循 2.6 之要求。 原数字 5 ft * 若对制程设备之排气或稀释会造成持续性之不燃环境，则不受上述限 制。 4.6 特殊要求 4.6.1 化学物质之排放： 每一使用危害物之制程设备必须具备下列条件： A. 和排放系统兼容之排放管线系统。 B. 设备平面

19、能提供斜坡或其它适当方式来使溢出的化学品至排放系统。 C.经过审核认可的方式，使溢出或漏泄的液体导流至排放系统。 4.6.2标示：供应或排放危害物之系统必须予以明显标示，而且在任何 时候皆可目视到。 4.6.3 遮断阀：在制程设备中危害物供应系统必须具有遮断阀。 4.6.4储槽避免损坏之保护：连接或在制程设备中之危害物的储槽必须 避免损坏，而且该储槽不可突出设备之外。 4.6.5制程设备之空间裕度：使用危害物之制程设备对电器设备，气体 钢瓶接头，或紧急状况时， 必须保持有 1 公尺以上水平的工作空间。 这个空间只 是用来例行操作使用，而非用于修理或相关保养工作。 原数字 3 ft 5 在制程区

20、中危害物之储存及分装 5.1通则：危害物液体、气体和固体必须完全储存在钢瓶柜中或制程设 备中。不同危险等级之危险物质必须置放在不同之钢瓶柜中，而且不能混放。 但 隋性物质则不受此限制。 5.2 危害物气体之特殊要求。 5.2.1通则：其钢瓶柜除了符合5.1 之要求外，内部也必须设有撒水装 置。钢瓶瓶柜必须有自动关闭系统。 * 在危害物储存房间中之钢瓶柜可以不装撒水装置，但活化性气体仍须 装置。 5.2.2气体监测：不论是否在供应状态中，钢瓶柜中应有连续性气体监 测系统。若发现有泄漏情形产生，该监测系统能自动切断钢瓶柜中之供应阀门， 并发出警报，同时将讯号送至防灾中心。 5.2.3排气：钢瓶柜必

21、须有排气装置。若钢瓶柜中之储存气体是毒性或 高毒性者，其排气速度应使接头处面上之速度超过60 公尺 / 秒以及在接头任意点 之速度至少45 公尺 / 秒。钢瓶柜应保持负压，且其排气系统要求亦和4.3.2和 4.3.3 者相同，并容许其与设备之排气系统相连。 原数字 200 fpm 原数字 150 fpm 5.2.4 溢流控制：溢流控制阀与第3.5.1 之要求相同。 6 在走道中危害物之处理 6.1 新建筑物：在新建筑物中，走道不得有危害物。 6.2 既有建筑物： 6.2.1通则：当既有建筑之制程区重新翻修时，在经由消防主管机关同 意后，可以将危害物移至走道。 6.2.2储槽：所有运送危害物之储

22、槽，必须经过审核认可。若液体未超 过 20 公升，其可被允许以20 公升容量之储槽来装送。若超过两桶以上之20 公 升装之液体在走道上运送， 他们应装载在一经过验证之手推车上。除非在避免受 到污染的情形下， 玻璃容器在一般情形下是不准使用。玻璃容器的容量不得超过 4 公升。 原数字 5 gallons 原数字 5 gallons 原数字 5 gallons 原数字 1 gallon 6.2.3 手推车和搬运车： 两者均须用来运送危害物， 其设计必须符合6.3 之规定。 * 例外： 1. 若两个盛装危害物液体之容器均未超过 20 公升，可以容许以手提方式运送。单独未超过 200 公升的储桶，应用

23、适当的储桶搬运车来运送。 原数字 5 gallons 原数字 55 gallons 2. 危害物之气体钢瓶必须以经验证过之手动钢瓶搬运车来运送。单一之手提钢瓶，不可超过 50 公斤。 原数字 25 pounds 3. 危害物之固体， 若未超过 200 公斤，可以经验证过之手动搬运车运送。单一之手提储槽，不可超过 100 公斤。 原数字 100 pounds 原数字 50 pounds 6.2.4气体钢瓶之预防措施：危害物之气体钢瓶在搬运当中，其开关阀 必须有顶盖或密闭式的装置盖住，而且其保护盖也必须在定位。 在手推车或搬运 车中之钢瓶，钢瓶必须个别锁住。 6.2.5 分装：危害物不得在走道处分

24、装。 6.2.6 管理：手推车或搬运车不得在无人看管下置于走道。 6.2.7在走道上危害物贯穿区域：在走道若有贯穿区域存在，则其与走 道的门必须为自行关闭之型式，且具有一小时以上之防火时效。贯穿区域必须完 全以墙面（同走道墙面要求标准） 成一封闭区域， 而且具有审核认可之自动灭火 系统。 6.2.8紧急警报：必须装置有紧急电话系统，手动警报装置或警告讯号 装置。他们之间的距离不得超过45 公尺，或者设置在各个出口楼梯处。这些警 报讯号都必须接至防灾中心。 原数字 150-foot 6.2.9消防设施：洒水系统须根据建筑法规和各类场所消防安全设备 设置标准来安装。若走道上有一排的洒水头的设计，则

25、其最大计算所须的数目 不须超过 13 个。 见 2.2 之说明 6.3 手推车和搬运车之设计 6.3.1通则：手推车和搬运车必须有安全的底座来支撑运送的物品，而 且有锁住装置以避免因意外而使物品脱落。他们亦须配备有停车及减速装置，使 运送者能安全的操作。使用于Class I , Division 1或 Class I , Division 2 危险场所之动力手推车和搬运车必须经审核认可。绝不可使用内燃机当动力来 源。 6.3.2液体搬运：用于运送危害物可燃性或易燃性液体手推车或搬运车 之材质必须为厚度超过1.12公厘的钢板 (18号钢 ) 或者具有火焰延烧等级 Class-I之认证的材料。 危

26、害物液体搬运用之手推车或搬运车必须使运送的物体 完全密封，必须能够在搬运时防止泄漏产生。 原数字 0.044-in (18 gage) 6.3.3尺寸：手推车之长度或宽度不得超过1.2 公尺，或者不得超过走 道宽度的一半。在搬运危害物时，手推车和搬运车之最大承载量不得超过 200 公升的液体； 7 个气体钢瓶（每个最多 90 公斤）； 110 公斤的固体。 原数字 48 inchs 原数字 55 gallons 原数字 400 pounds 原数字 500 pounds 6.3.4标示：手推车和搬运车必须标示其运送物品之内容。不能兼容物 品不得置放于同一手推车或搬运车。 6.4 管线 6.4.

27、1通则：若输送危害物的管线是在走道的墙面，地板或顶部，则相 关装置须符合下列要求。 6.4.2 关闭阀：手动或遥控失效安全紧急关闭阀必须装设在： A. 管线系统进入走道之进口处。 B. 分支管联结至制程区处。此种阀必须标示清晰而且可清楚目视之。 6.4.3 溢流控制：同3.5.1 所要求者。 6.4.4 气体监测。同3.5.3 所要求者。 6.4.5电器设备：在管线空间之电线和相关设备，应符合Class I , Division 2危险位置要求者。亦应遵循2.6 之要求。 7 服务走道中危害物的处理 7.1 运送标准 7.1.1通则：若危害物必须运送至储存间或从该储存间运出，或者由建 筑物外送

28、至制成区之外墙， 则必须有专用之服务走道。 用来搬运危害物之服务走 道应符合下列要项。 7.1.2 储槽：同 6.2.2 之要求。 7.1.3 宽度：服务走道之最小净宽为1.5 公尺。 原数字 5 ft * 若有使用手推车或搬运车，则最小宽度应为手推车或搬运车最大宽度再加上 0.8 公尺。 原数字 33 inches 7.1.4容量：服务走道中，一次运送危害物的量，不得超过6.3 所规定 者的两倍。 7.1.5紧急警报：应有手动警装置或其它审核认可之警告讯号装置。亦 可见 6.2.7之要求。消防主管机关得要求增加装置。 7.1.6消防设施：应设置洒水头，其设置应根据6.2.8 之规定 7.2

29、禁止程序：在服务走道中，禁止分装危害物。 7.3 结构要求：依建筑法规之规定。 7.4 紧急出口：依建筑法和各类场所消防安全设备设置标准之规定。 见 2.7 之说明 7.5 管线：同 3.5 之规定。 8 危害物储存 8.1 在建筑物外之储存 8.1.1通则：建筑物外之储存场所应依建筑法规之区别，结构和防火要 求之规定和本基准之规定。 8.1.2管线遮断装置：从建筑物外面进来之危害物气体供应管线应具备 有 3.5.1之规定。建物外每个储存槽危害物供应管线均应设有紧急手动关闭阀， 该阀位置，标示应明显目视且易于激活。 8.1.3特殊要求：建筑物外之危害物储存槽应对公共场所保持适当的安 全距离。

30、8.2 在建筑物内之危害物储存 8.2.1结构：危害物储存场所须依建筑法规相关规定。其面积不得超过 550 平方公尺。若其面积超过28 平方公尺，则须有两小时防火时效之隔间墙。 若面积在 28 平方公尺以下，则隔间墙须一小时防火时效。除非经审核认可，所 有墙面及地板均须为不燃材质所构成。若储存场所亦用来分装Class I或 II之 易燃性气体和液体，则其面积不得超过90 平方公尺。 原数字 6,000 ft2 原数字 300ft2 原数字 1,000 ft2 8.2.2建筑物内之位置：危害物储存场所至少要有一面墙至少离距境界 线（ property line） 10 公尺以上。若有爆炸之可能性

31、，则须有爆炸控制系统。 该系统之设计应依建筑法规之相关规定。 原数字 30 ft 8.2.3储存场所内之分隔区划须求：在储存场所中易燃性，腐蚀性，氧 化性，亲水性等固体和液体，应依表四方式作分隔区划。 表四 原料分隔区划 1.2 区划最小防火时效 材料 毒性 酸 盐基 易燃性 氧化性 亲水性 易爆性 毒性 1hr 1hr 1hr 1hr 1hr 1hr 酸 1hr S S3 S S S3 盐基 1hr S S S S S 易燃性 1hr S3 S S 4 S 氧化性 1hr S S S S S3 亲水性 1hr S S 4 S S 易爆性 1hr S3 S S S3 S 1S=不燃性隔间。该隔间离储存原料之高、 前及后至少 45 公分 (18inches) 以上。 2 危害物气体和危害物液体及固体的区划，可见 8.2.3 。 3 若距离超过 6 公尺 (20 ft) 以上，则允许可以不用不燃性 ( 见 1.3.1 之说明 ) 隔间。 4 必须要有另一个储存场所。 当表四中允许在不同等级的危害物有不燃材质构成的隔间，则这些 危害物可置放在同一储存场所。 亲水性危害物不得和易燃性和可燃性液体置放在同一储存场所而必 须有所区隔。他们之间的区划墙