真空吸笔使用规范-文档资料

1、2021/4/6,1,真空吸笔使用规范,2021/4/6,2,使用真空吸笔的目的,一、避免Wafer的正面在传递和转移中和其他物体有物理接触。从而把Particle和Scratch等造成的不良降到最低。 二、用手和镊子夹去Wafer的情况要尽量避免和杜绝。,2021/4/6,3,正确的使用方法示范,Step 1: 首先把Cassette放置在作业台上，并保证放置平稳，方便操作。,放置平稳，方便操作,2021/4/6,4,正确的使用方法示范,Step 2:认真检查Cassette放置方向是否正确。 Cassette内的Wafer是否有方向防反的现象。,检查Wafer的方向是否正确，确保方向一致。

2、,2021/4/6,5,正确的使用方法示范,Step 3： 拿紧真空吸笔，用食指夹紧开关的前端，拇指推动开关。,拿稳吸笔，用拇指控制开关。,2021/4/6,6,正确的使用方法示范,Step 4: 笔头平行轻触Wafer背面，并确保笔头完全和Wafer接触，吸稳Wafer。,笔头完全和Wafer接触，防止吸力不足而导致滑落。,2021/4/6,7,正确的使用方法示范,Step 5: 以Wafer的背面为着力点，垂直将Wafer抽出。速度保持平稳。,垂直平稳抽出，以Wafer背面受力，并保持Wafer正面不受力。,2021/4/6,8,以Wafer的背面为受力点，避免正面和Cassette摩擦。

3、,2021/4/6,9,正确的使用方法示范,Step 6: 将Cassette 倾斜一定角度，将Wafer对好要放置的位置。,倾斜一定角度，并将Wafer对准位置，避免错位。,2021/4/6,10,Step 7: 以Wafer的边缘和背面为受力点，插入Cassette,插入Wafer，避免正面和Cassette产生摩擦。,2021/4/6,11,以Wafer背面和边缘为受力点插入。,2021/4/6,12,Step 8： 笔头前端和前一片Wafer平齐时。关闭真空开关。使其轻轻滑入Cassette。,笔头不要没入Wafer内，避免与邻近的Wafer光面接触到。,2021/4/6,13,Ste

4、p 9： 关闭真空开关，使Wafer边缘和背面与Cassette接触并轻轻滑落,让Wafer轻轻滑落入Cassette。,2021/4/6,14,错误的使用方法,以下列举几种错误使用方法，请大家在今后的使用过程中坚决避免！,2021/4/6,15,错误的使用方法,未垂直抽取Wafer，造成与领近的Wafer摩擦。,2021/4/6,16,错误的使用方法,未垂直抽取Wafer，造成与领近的Wafer摩擦。,2021/4/6,17,错误的使用方法,笔头插入过深，容易造成邻近的Wafer划伤。,2021/4/6,18,错误的使用方法,笔头插入过深，容易造成邻近的Wafer划伤。,2021/4/6,19,错误的使用方法,摆放错位！,2021/4/6,20,错误的使用方法,摆放错位！,2021/4/6,21,错误的使用方法,摆放错位！,2021/4/6,22,错误的使用方法,笔头未完全吸住Wafer，容易滑落！